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TEM操作步骤及注意事项.docx

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TEM操作步骤及注意事项.docx

上传人:fangjinyan2017001 2022/3/14 文件大小:204 KB

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TEM操作步骤及注意事项.docx

文档介绍

文档介绍:FEITECNAI20透射电镜
目录
电镜操作面板-2-
使用步骤:-4-
.放置样品-4-
.合轴-4-
.拍形貌-5-
-6-
五、拍衍射-6-
六、能谱分析-7-
七、高分辨-7-
八、拔样品杆及关机-zeBGunshift-光斑移至中间-Done
(Spotsize大小用R3和L3进行加减。)
Spotsize6-^Beamshift-光斑移至中间-Done
重复以上步骤,直至光斑在中间位置。
(3)然后将Spotsize降至1-光斑缩小并移至中心(确认光斑在顺时针放大逆时针缩小状态)一点击
BeamshiftPPXf调动多功能钮至两个圆重合fDone
BeamshiftPPY7调节多功能钮至两个圆重合一Done
(4)移动样品杆,将样品边缘对准中间小黑点,然后抬起左侧的
小镜子-RotationCenterf调节多功能钮至视野中样品上下跳动(不能左右晃动)一Done

.找空洞
.2、6合轴,散开光斑。
.倍数在2250X—86000X下都可以进行拍摄。套上物镜光阑,
先用最大的光阑找区域,然后换成小号。用物镜光阑套住感兴趣的区
域。
.然后将光斑散开,时刻注意右边的红绿条,要保证方框始终在
绿色区域(其目的是为了保护相机)。
.相机参数:,。按钮
R1进行抬屏,然后点Startview,加载相机,调焦,然后点Acquire,进行拍照。
.拍完后点击stopviewR1放下屏幕。在拍照期间禁止调节放
大倍数。

2,6合轴,调焦。
2、86000X,找到薄区且带有特点易记的区域(踩带轴过程中样
品会动,这样便于识别出自己感兴趣的区域)。
3、将光斑汇聚到一点。
4、按diffraction,寻找菊池线。菊池线汇聚的焦点一般为一正带
轴,菊池线汇聚数目越多,晶带指数越低。再按diffraction,散开光
斑。用左键盘左上角四个按钮调节样品位置,不断按diffraction查看
带轴是否踩正。不断调节,直至踩正,踩正后的衍射斑点中心在屏幕
小黑点处,并且周围斑点亮度应对称。
五、拍衍射
.先调数值,,.
.踩正带轴,低指数。
.加上选区光阑,亮斑套住要拍衍射区域。
.调Spotsize大于等于5,在底屏看不见,在抬起的小屏上可看
见。
.点Startview加载相机—左手抬屏―Stopview7立即放下屏。
.查看光强,Analysis—Statics^Mininum^minandmax,观察最大值不超过50000,如过大应继续散开光斑或者继续调大spotsize。
.确认最大强度不超过50000时,即可进行拍照。
.关闭选区光阑、关闭Diffication、降低Spotsize到1(具体看下一步操作的要求)。
六、能谱分析
.找感兴趣的点
.把光斑缩小到一点,放大倍数86000倍,spotsize调到6以上。
Cps值小于20000(先RTEMControlin才能看CPS值)。
.点击电脑屏幕下方RTEMContor—in—Acquire(左上方,区别于拍形貌及衍射时的acq