文档介绍：.
例：将剂量为1107ions/cm2,能量为45KeV勺碳离子注入单晶硅中，然后在1100C退火2h进行热处理。对单晶硅试样进行XPS测试，试对其中的Cis高分辨扫瞄谱进行解析，以确定各种可能存在的官能团。
分析过程：
1、在Or
本例中加了三个峰，C元素注入单晶硅后可能形成C-C、C-Si和C-H三个价键。根据这三个价键对应的结合能确定其初始峰位，然后添加。具体过程见图8、9、10。
图8
图9
图10
5、拟合。选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimiseregion进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点Optimiseregion。最终拟合结果见图11。
图11
6参数查看。拟合完成后，分别点另一个窗口中的RigionPeaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不region满意，可改变这些峰的参数，然后再点Optimise。
7、点击SaveXPS存图，下回要打开时点OpenXPS就可以打开这副图继续进行处理。
8、数据输出
点击DataPrintwithpeakparameters，可打印带各峰参数的谱图,通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。
点击DataExporttoclipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档（如Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。
点击DataExport（spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。
XPS能谱数据处理
王博吕晋军齐尚奎
能谱数据转化成ASC码文件后可以用EXCELORIGIN等软件进行处理。这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN软件如何处理能谱数据，以及它的优势所在。
下面将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据：1、多元素谱图数据处理2、剖面分析数据处理3、复杂谱图的解叠一、多元素谱图的处理：
B（Y）：
1、将ASC码文件用NOTEPA打开：2、复制_Y轴数值。一打开ORIG元素将称Y轴数据粘贴到
X轴步长B（Y），再点击<->丫，5、点击OK得到下图轴数值3、如图：点击工具栏plJtX选起始匪4、出现中输入起始值和步长。
使B（Y）成为Y轴数据。然后在setXvalues
采集的数据点
总数
6、利用ORIGIN提供的工具可以方便的进行平滑、位移。
：
1）如图：选择analysistranslatevertical或horizontal可以进行水平或垂直方向的位移。我们以水平位移为例进行讲解。
2）在图中双击峰顶，如图示（小窗口给出的是此点的X，Y值）3）然后在图中单击其他位置找到合适的X值（小窗口给出的是红十字的X，Y值）4）双击红十字的位置，峰顶就会位移到此处：
位移可以反复多次的进行，垂直方向的位移和水平方向的一样。
B平滑1）如图选择：
2）出现下面的小窗口3）点击settings出现下面的界面（如果想用平滑后的代替原始的，选择”replaceoriginal”,如果想重新做图选”addtoworksheet"，下面的数值不用改变）4）点击operation,选择s