2.3 电池制造工艺 扩散.ppt

文档介绍：扩散什么是结? ?富含电子的区域( N型区)与富含空穴的区域( P 型区)的分界处?结的具体位置在哪里? 电子浓度和空穴浓度相同的地方什么是扩散? ?一种材料通过另一种材料的运动,是一种自然的化学过程?是掺杂的一种工艺方法扩散的发生条件? :充压喷雾罐(空气清新剂之类) 液相扩散:墨水与水混合固相扩散:金链子与皮肤结的扩散形成杂质气流扩散炉管+:P型杂质原子-:N型杂质原子 (扩散炉) (气相扩散) N型杂质原子,硅材料内部为 P型杂质原子,因为浓度的关系,发生扩散过程 N型杂质原子数量高于第一层中 P型原子数量,形成 N型导电层 ,第二层中的 N型杂质的数量高于 P型,使第二层转变为 N型 ? ?所掺杂质与原有杂质相同,即在 N型硅片中掺入 N 型杂质或在 P型硅片中掺入 P型杂质?掺入的杂质原子仅仅在限定区域中提高了杂质原子的浓度,不会形成结 NP 结与 PN 结? NP 结:掺杂区中 N型原子浓度高 PN 结:掺杂区中 P型原子浓度高扩散的工艺目的? ?在硅片表面产生具体掺杂原子的数量(浓度) ?在硅片表面下的特定位置处形成 PN (或 NP )结?在硅片表面层形成特定的掺杂原子(浓度)分布什么是横向扩散? ?在扩散过程中,只要满足扩散条件,可朝任意方向运动?横向扩散是指杂质原子的横向运动,在不希望的掺杂区进行了掺杂,或改变了工艺需要的浓度。扩散工艺步骤 ( deposition ) ( drive-in-oxidation )