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无尘室污染控制的基础知识概要(共10页).doc

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无尘室污染控制的基础知识概要(共10页).doc

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无尘室污染控制的基础知识
无尘 室是产品垂直的或是水平 的,并以一般是 /秒 /至 /秒的均速流过整个 空间,这种称为单向流洁净室,气流有越多的障碍就会产生 更多的紊流,紊流能产生尘粒的移动。
过滤器
除了 HEPA 过滤器广泛地用于无尘室外,还有很多其它类型 的过滤器用于从气体和液体中除去尘粒,这些过滤器都是提 供高效率污染控制的基础。
清洁
在污染控制中清洁是最基本的要素之一,必须下决心制定详 细的洁净室维护和清洁计划,无尘室清洁及操作程序须文件 化,且无尘室管理条例也需与合作的供应商达成统一,在进 行无尘室清洁项目之前有很多问题需要清洁管理人员事先
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考虑。
清洁什么?
清洁的标准是怎样的?
在无尘室中需要用到什么样的清洁物料?
什么时候清洁无尘室?
无尘室的清洁频繁?
无尘室工衣
在无尘室中不同位置间移动也需要无尘工衣穿着发生变化, 知道无尘室管理的工衣需求是非常重要的,手套、口罩、头 罩在几乎每个无尘室环境中都是标准着装,工作服用得越来 越广泛,连体服在很多无尘环境中也被要求用到。
洁净室中的人员
当人员出现在无尘室中时身体和心理上因素都需注意,身体 举动比如快速移动和剧烈动作都能产生污染,心理因素例如 温度、湿度、气味和工作场所的姿势都是重要的,以下有多 种人为产生的污染方式:
1 人体产生物质 ---皮屑、皮脂油、汗液和头发
2 行为 ---运动速度、打喷嚏和咳嗽
3 姿势 ---工作****惯和工人之间的沟通姿势
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在无尘室中人是污染的主要来源,注意下表中人的不同活动 每分钟产生的尘粒数。

日用品
在无尘室中选择和使用日用品时需要谨慎 , 无尘抹布 , 无尘纸 和无尘笔以及其它在无尘室需用到的物料需经过仔细的筛 选和选择 , 在这些物品进入无尘室之前 , 评估是否满足无尘室 条件是很基本的工作 , 实际上 , 很多无尘室管理人员都要有经 批准可在无尘室使用的物料清单。
化妆品
很多化妆品含有钠、镁、硅、钙、钾或铁等化学元素,这些 化学物质能产生有害的尘粒,无尘室管理人员可以在无尘室 中禁止或限制使用化妆品,当然取决于这些物质对在无尘室 中生产出来产品的危害,最近发现造成空间望远镜的镜片出 现不清晰的物质就是因为在无尘室受到化妆品的污染。
测量和仪器
一些与污染控制相关的重要测量, 如尘粒数、 空气流动 /速度、 湿度、温度和表面洁净度,无尘室管理人员通常有测试标准 和(或测量仪器去测量这些重要项目。
静电放电(ESD
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