文档介绍：氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍
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内容
真空检漏技术
氦质谱检漏仪的主要构成及作用
真空学简介
泵的工作原理
质谱管结构及其工作原理
氦质谱检漏仪的使用方法及注意事项
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真
采用油封的原因：
当前大量使用的机械真空泵，即使设计得再好，相向运动的零件间配合精度即使很高。在泵达到极限真空时，也难以阻止气体由低真空端向入口端“突破”返流。另外，由于泵在设计制造及装配中不可避免地存在有害空间，这也降低泵的极限真空度。油封机械真空泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来；将有害空间充填，使得高压气体反“突破”的机会少得多，密封性能也就好得多，从而使泵能达到较高的真空度。
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分子泵：
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
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三位手动组合阀
三位手动组合阀可对被监实现预抽真空、检漏和放大气的全部检漏操作程序。这样的工作是通过顺时针旋转操作手柄完成的。
三位阀表面图
（操作手柄）
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质谱管
质谱管是检漏仪的核心部分，包括离子源、磁铁、接收极与前置放大器、全离子检测极及管壳
等
部
分。
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粒子受力分析
带电粒子的速度方向若与磁场方向平行，带电粒子不受洛伦兹力作用，将以入射速度做匀速直线运动。
带电粒子若垂直进入匀强磁场且只受洛伦兹力的作用，带电粒子一定做匀速圆周运动，其轨道平面一定与磁场垂直。由洛伦兹力提供向心力，即：
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粒子带电量为 q ，质量为 m ，经加速电压 U 加速后进入匀强磁场中，在加速电场中，由动能定理得：qU = 1/2mv2 ，在匀强磁场中轨道半径：
R＝；
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若以一电子的电荷量作为1电荷单位，正离子的电荷数用Z表示，以相对原子量单位作为离子的质量单位，离子质量数用M表示，M的单位为高斯（1高斯=10-4特），V的单位为伏特，R的单位为cm，则
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电子学线路
电子学线路包括控制部件和接收器两大部分。
控制部件的电路方块图包括了总电源板MAIN简称M板，显示板DISPLAY简称D板，控制板CONTROL简称C板共三块电路板。
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逆流检漏法
逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102；对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦质谱检漏仪的工作原理。
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利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法有：喷吹法、氦罩法、吸枪法、背压法、辅助真空系统法等。
检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的，基本有以下几种检漏方法：
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该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用检漏仪的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑的部位喷吹氦气。当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。
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如图所示：
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具体操作方法为用专用的吸枪连接在仪器的检漏口上，要被检测的器件则充入一定量的氦气（纯氦气或按一定比例混合的氦—氮混合气体）。在检漏时，让气枪沿着可疑漏孔处慢慢移动，若被检测器件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。
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如图所示：这种方法又称为吸枪法
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将被检测器件与仪器检漏口连接抽真空，并在它的外面罩一个充满氦气的容器，如果被检测器件有漏孔，氦气便会由漏孔进入被检件，并最终达到质谱管被检测到，所测到的漏率为被检测器件的总漏率，但这种方法不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。
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示意图如下：
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这种方法在检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气，然后取出被