TEM最新进展及发展趋势 PPT课件.ppt

文档介绍：TEM最新进展及发展趋势
主要内容
TEM发展概述
TEM的最新发展
TEM的发展趋势
TEM的发展概述
第一台TEM由马克斯·克诺尔和恩斯特·鲁斯卡1931年研制,这个研究组于1933年研制了第一台分辨率超过可见光的TEM,分辨率大约是50nm。
西门子公司于1939年研制成功世界上第一台商品透射电镜分辨率约为10nm,1954年进一步研制成功Emiskop1型透射电镜分辨率大约为1nm。
我国电镜研制起步较迟,1958年在长春中国科学院光学精密机械研究所生产了第一台中型电镜,。
TEM的最新发展
功能完善
超高压TEM分辨本领高—在原子水平上直接观察厚试样三维结构;试样穿透能力强(1MV时约为100kV的3倍) ;JEM-ARM 1250/;;
中等电压200kV\300kVTEM:采用球差系数更小的物镜和场发射电子枪;;国际上常规200kV ,放大倍数约为50倍~150万倍;
120kV\100kV分析电子显微镜:生物、医学以及农业、药物和食品工业等领域—观察分析反差低以及对电子束敏感的生物试样—配有冷冻试样台和EDS,可以在获得高分辨像的同时还可以得到大视场高反差的低倍显微像,
多功能高分辨分析TEM:配有锂漂移硅Si(Li)X射线能谱仪(EDS),配有电子能量选择成像谱仪—进行纳米尺度的微区化学成分和结构分析;
TEM面临的重大技术突破—提高分辨率