文档介绍：用于检查工件的方法和设备的制作方法
用于检查工件的方法和设备的制作方法
在测量设备上测量一系列名义相同的生产工件。为了针对温度变化进行校正，所述工件中的一个工件形成标准制品，其度量例如通过外部校准是已知的。所述标准制品在两个或者更多个温置相似的特征。其可以是形成待测量的一系列名义相同的工件之一的工件。
[0019]所生成的一个或者多个误差图或者查找表或者函数可以被用来校正生产工件的随后测量结果。这样的方法可以包括在所述设备上测量生产工件以获得测量工件度量值；并测量获得所述测量工件度量值时的温度。然后采用源自于根据获得所述工件度量值时的温度确定的所述误差图或者查找表或者函数的校正值来校正所述测量工件度量值。
[0020]本发明的第三方面提供了一种在测量设备上测量工件的方法，所述方法包括:
[0021]以参考工件形式提供标准制品，所述参考工件具有已知度量，
[0022]在第一温度于所述设备上测量所述参考工件，并产生所述参考工件在所述第一温度时得到的第一组测量度量值，
[0023]生成将所述参考工件在所述第一温度时的所述测量度量值与所述参考工件的所述已知度量相关联的至少一个误差图或者查找表或者函数，
[0024]在所述设备上测量生产工件以获得测量工件度量值，并测量获得所述工件度量值时的温度，以及
[0025]采用源自于所述误差图、查找表或函数的校正值来校正所述工件度量值，
[0026]其中，所述校正值根据获得所述工件度量值时的温度来确定。
[0027]在一个有利的方式中，上述方法可以进一步包括:
[0028]在至少一个另外的温度测量所述参考工件，并产生所述参考工件在相应的一个或者多个温度时的至少另外一组测量度量值，
[0029]其中，所述误差图或者查找表或者函数还将所述参考工件在另外的所述一个或者多个温度时的所述测量度量值与所述参考工件的所述已知度量相关联。
[0030]在一个可以选择的有利的方式中，所述方法可以进一步包括:
[0031]在至少一个另外的温度测量所述参考工件，并产生所述参考工件在相应的一个或者多个温度时的至少另外一组测量度量值，
[0032]生成将所述参考工件在另外的所述一个或者多个温度时的测量度量值与所述参考工件的所述已知度量相关联，以及
[0033]根据获得所述工件度量值时的温度，采用来自于所述至少一个另外的误差图或者查找表或者函数的校正值来校正所述工件度量值。
[0034]于是，在这些可以选择的方式中，可以存在一个提供对应于多个温度的校正值的综合的图、查找表或者函数，或者可以存在针对不同的温度的独立的误差图、查找表或者函数。
[0035]在本发明的上述方面的任意方面，所述方法可以包括检查测量或者准备测量生产工件时的温度是否在预定的公差内对应于所述误差图或者查找表或者函数中的一个误差图或者查找表或者函数的温度，如果对应，则采用源自于对应的误差图或者查找表或者函数的校正值来校正所述工件度量值。
[0036]在本发明的上述方面的任意方面，所述方法可以包括检查测量或者准备测量生产工件时的温度是否在预定的公差内对应于所述误差图或者查找表或者函数的温度，如果不对应，则对所述标准制品进行重新制定标准并产生所述标准制品在所述相应温度时的另一
组测量度量值。
[0037]可以选择的是，如果在获得所述工件测量值