文档介绍：: .
10。图 8

图 9图 10
5、拟合。选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点 Optimiseregion进行拟合，
观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点 Optimise。 region
最终拟合结果见图 11。

图 116、参数查看。拟合完成后，分别点另一个窗口中的 RigionPeaks 下方的 0、1、
2等可看每个峰的参数，此时 XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不
region满意，可改变这些峰的参数，然后再点 Optimise。
7、点击 Save XPS存图，下回要打开时点 Open XPS就可以打开这副图继续进行
处理。
8、数据输出。
点击 Data――Print with peak parameters，可打印带各峰参数的谱图，
通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。
点击 Data――Export to clipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，
打开文档（如 Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。
点击 Data――Export （spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在 Origin
中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在 Origin中作出拟合后的图。
XPS 能谱数据处理
王博吕晋军齐尚奎
能谱数据转化成 ASC 码文件后可以用 EXCEL、ORIGIN 等软件进行处理。这篇文章的
目的是向大家介绍用 ORIGIN 软件如何处理能谱数据，以及它的优势所在。
下面将分三部分介绍如何用 ORIGIN 软件处理能谱数据：1、多元素谱图数据处理 2、剖面
分析数据处理 3、复杂谱图的解叠
一、多元素谱图的处理：
1、将 ASC 码文件用 NOTEPAD 打开：
元素名称
X 轴起始点
X 轴步长
采集的数据点
总数
Y 轴数值2、复制 Y 轴数值。打开 ORIGIN，将 Y 轴数据粘贴到 B（Y）：

3、如图：点击工具栏 plot，选择 line4、出现下图：点击 B（Y），再点击<->Y，使 B（Y）成为 Y 轴数据。然后在“set X values”
中输入起始值和步长。

5、点击 OK，得到下图： : .
材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例