文档介绍：洁净区环境检测规程
1目的
规定洁净区的控制指标和检测方法,有效的控制洁净车间和实验室洁净区环境的洁净度,满足生产和检测环境的要求。
2范围
本规程适用本公司洁净区环境的洁净度检验。
3职责
化验员负责洁净环境检测各项技术要求的检验。
温度、湿度、压差、风速(换气次数)、尘埃粒子数、菌落数。
、湿度
洁净区温度(18-28)℃,相对湿度(45-65)%
温湿度计
温湿度计必须在检定合格周期内
目测温湿度计
1次/班
洁净室与室外压差≥10Pa,洁净室与非洁净室≥5Pa,不同级别洁净室之间≥5Pa。
微压计
微压差计或手持式数显压差计须在检定合格周期内。
用微压计或数显压差计测试各室的静压力,由两室静压力之差,为静压差。
1次/月
:
表1各级别洁净区风速的技术指标
级别
100级
10000级
100000级
300000级
风速
m/s
水平层流
≥
——
——
——
垂直层流
≥
换气次数
次/h
——
≥25
≥15
≥12
风速计
风速计必须在检定合格周期内。
,采样点为风口的四个顶角及中心位置(不少于5点)。计算5个点风速平均值,为一个风口的风速。
:
换气次数=∑(高效送风口风速×高效送风口面积)被测房间体积
:
1次/月
:
表2各级别洁净区尘埃粒子数的技术指标
级别
100级
10000级
100000级
300000级
尘埃数
粒/m3
≥
≤3500
≤350000
≤3500000
≤10500000
≥
0
≤2000
≤20000
≤60000
尘埃粒子计数器
(1),总采样次数不少于5次。
(2)最少采样点数目的确定如3表所示:
表3:最少采样点数目
面积
m2
洁净度级别
100级
10000级
100000级
300000级
<10
2~3
2
2
2
≥10~<20
4
2
2
2
≥20~<40
8
2
2
2
≥40~<100
16
4
2
2
≥100~<200
40
10
3
3
≥200~<400
80
20
6
6
≥400~<1000
160
40
13
13
≥1000~<2000
400
100
32
32
≥2000
800
200
63
63
注:对于100级的单向流洁净室(区),包括100级洁净工作台,面积指的是送风口表面积;对于10000级以上的单向流洁净室(区),面积知道是房间面积。
(3)采样点的位置
。
采样点多余5点事,,但每层不少于5点。
采样点分布见附录A
(4)采样次数的限定
对任何小洁净室(区)或局部空气净化区域,采样点的数目不得小于2个,总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数可以多余一次,且不同采样点的采样次数可以不同。
(5)采样量
不同洁净度级别每次最小采样量见表4
表4最小采样量
最小采样量
L/次
洁净度级别
100级
10000级
100000级
300000级
≥
≥
(6)采样注意事项
对于单向流洁净室(区),粒子计数器的采样管口应正对气流方向;对于非单向流洁净室(区),粒子计数器的采样管口宜朝上。
布置采样点是应尽量避开风口。
采样时,测试人员应在采样口的下风侧,并尽量少活动。
采样完毕后,宜对粒子计数器进行自净。
应采取一切措施防止采样过程的污染。
(1)采样点的平均悬浮粒子浓度A
采样点的平均悬浮粒子浓度A的计算公式:
A=i=1nCin
式中:
A—某一采样点的平均粒子浓度,粒每立方米(粒/m3)
Ci—某一采样点的粒子浓度(