特殊气体供应系统ppt课件.ppt

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Pressureunit:(压力单位)
psig—表压,psia—绝对压力 psia=psig+
1bar=105Pa===
1atm=
Flowrateunit:(流量单位)
sccm—毫升/分钟 slpm—升/分钟
1slpm=1000sccm
S表示标准状态,即:1大气压,20℃。
Weightunit:(重量单位)
1Kg=
压力/重量单位
化学品及企业标识:化学品名称,企业名称,企业应急电话等
危险性概述:危险性类别(8大类),侵入途径,健康危害等
急救措施:皮肤接触,眼睛接触,吸入等
消防措施:危险特性,有害燃烧产物,灭火方法及灭火剂,灭火注意事项等
泄露应急处理:应急处理和消除方法等
操作处置与储存:操作注意事项,储存注意事项等
接触控制/个体防护:最高容许浓度TLV,呼吸系统防护,眼睛防护,身体防护等
理化特性:PH值,沸点(℃),相对蒸气密度(空气=1)等
废弃处置:废弃物性质,废弃处置方法,废弃注意事项等
法规信息:国内化学品安全管理法规,国际法规等
MSDS—物质安全资料表
SMIC的特殊气体分为四种:
惰性气体
毒性气体
腐蚀性气体
可燃性/毒性气体
气体的定义
在SMIC总共有41种特殊气体:
14种惰性气体
CF4,CHF3,C4F8,C2F6,SF6,CO2,C3F8,%O2/He,20%O2/N2,
30%O2/He,%Kr/Ne,%He/N2,100ppmXe/Ar/Ne,%He/N2
6种毒性气体
SiH4,1%PH3/N2,1%PH3/H2,CO,%AsH3/H2,B2H6
8种腐蚀性气体
ClF3,NH3,SiF4,HCl,Cl2,HBr,%F2/%Kr/Ne,%F2/%Ar/Ne
10种可燃性/毒性气体
NO,SiH2Cl2(DCS),N2O,NF3,10%CH4/Ar,CH3F,CH2F2,C4F6,4%H2/N2,5%H2/He,CH4
Sub-Fab(腐蚀性)—C5F8,BCl3和WF6
气体的定义
气体房包括CQC(连续质量控制)房,纯化器房,惰性气体房,毒性气体房,腐蚀性气体房和可燃性/毒性气体房.
气体房布置图如附件:
气体房布置图
气体房
FAB1特气气瓶柜
气瓶柜流程图(AirLiquid)
所有气瓶柜在零中断的情况下自动切换,在紧急情况下会自动停止供气.
我们也可在必要条件下手动操作气瓶柜.
气瓶柜