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CMOS工艺流程.ppt

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CMOS工艺流程.ppt

上传人:aideliliang128 2018/4/20 文件大小:3.09 MB

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文档介绍

文档介绍:1) 清华工艺录像
N阱硅栅CMOS工艺流程
1
初始氧化
2
光刻1,刻N阱
3
N阱形成
N阱
4
Si3N4淀积
Si3N4
缓冲用SiO2
P-Si SUB
N阱
5
光刻2,刻有源区,场区硼离子注入
有源区
有源区
N阱
6
场氧1
N阱
7
光刻3(N阱场区磷离子注入)
N阱
8
场氧2
N阱
9
栅氧化
栅氧化层
N阱
10