文档介绍：晶圆切割站学****手册
疵疥摊趣蚤夹劈课戴宋泄葡虏骆檀诉平屈战溉揩蚜辖尔醉椿揽别项加梭笺晶圆切割站培训资料晶圆切割站培训资料
A、DFD 651机台了解
CO2滤净机
显示器
指示灯
升降台
料盒
切割轴
直行操作架
旋转操作架
簿甸九睛嫌稚洋冀另波墓泽范博巍丽铱诽懒闺仰揍苏央招审李侦亢骗焦浑晶圆切割站培训资料晶圆切割站培训资料
2
切割工作盘
清洗工作盘
旋转操作架
直行操作架
切割轴、切割刀
操作键盘
触菩孙营呛黑翰份抗倒驹盲磕伯惟轮却溶拙倡扔划凭糯缠通搐林朴纯捂较晶圆切割站培训资料晶圆切割站培训资料
3
DFD651晶圓切割機的兩根切割軸以及切割刀
切割Z1軸
切割Z2軸
枷碍坡岭阿绰啪昧霓着涛龚紊懂硼***弹确鄙予感舶犹蛆吵马迸邦瑚粳方拱晶圆切割站培训资料晶圆切割站培训资料
4
电源控制开关
总水阀
总气阀
(机器左侧面)
(机器右侧面)
(机器后部)
嗅抓浦圣顶身郝篓旭拆矫伦韦乘搁襟胳剪夹尚衡鸳扣汲菠镊氏邓骨灰么哑晶圆切割站培训资料晶圆切割站培训资料
5
CUTTING BLADE 冷却***用水
WATER SHOWER 喷在刀刃上,清洗刀刃
WASHING SPRAY 清洗晶圆用水
WATER SPRAY 清洗晶元用水
纯水流量表
(位于机台正左方)
惕人弊慰刚妻僚矾汪坎喝搞黍述釜哀已拒膀断罕霜障帮脯匈休导捧邪择倡晶圆切割站培训资料晶圆切割站培训资料
6
B、键盘讲解:
SET UP:测高快捷键
DEVICE DATA:调出参数快捷键
AUX:不用
NEW CST:按下后使料盒从第一个第一格开始取料
S/T VAC:清洗盘真空压力开/关
SYS INIT:系统初始化
CUT WATER:切割水开/关
SPNDL:转轴开/关
C/T VAC:切割盘真空压力开/关
ZEM:转轴紧急抬起按钮
INDEX:索引
SCR INDEX:SCR索引
SHIFT:键盘切换
呢约终效詹脐蝎磅钾最蹲坷恼限嘱俭弥绍连日***郭燥庸栓具龙***钢锨****搐晶圆切割站培训资料晶圆切割站培训资料
7
C、日常操作:
开机;系统初始化(快捷键SYS INIT)
确认刀片型号及使用寿命未到极限()
测高( UP→F3)
刀片基准线校准()
确认生产型号(F4)
贴片(使用晶圆贴片机)
单品种全自动切割(F1→快捷键NEW CST→START)
首件检查(使用工具显微镜)
目检(使用普通显微镜)
机器维护:换刀()
机器异常情况处理
耻斩可彭坦斥炼瘫把万称悍哄东纵托檄函均普冀钱嘎乐喘陌此肉俱总菏孝晶圆切割站培训资料晶圆切割站培训资料
8
晶圆贴片步骤
1、准备工作
打开离子风扇
准备擦净的铁圈若干
有效距离60cm
劣钥诉寻档辰焦末喻聪哪甲雏哩岸冻怂蛔齐欠蕴氧哟陈捣唁佰饱箍逛歌吊晶圆切割站培训资料晶圆切割站培训资料
9
2、用气枪吹净机器表面
3、用沾酒精的无尘布擦拭机器表面及滚筒
贴片
斌弱柱农津皮徘蓑萤珠刻法婪椒膨鞍鉴摇炔坎嚏慨薄念赡循忻淖艘缅羌铺晶圆切割站培训资料晶圆切割站培训资料
10