文档介绍：万方数据
+izcMsunmenthnoloDepartment一谄一谄一i号的周期的关系为下一耽,这样的波形便于后续处理。眨鰊石云波,王玲,刘俊瞘盯交流测量方法的优点,设计了微分检测电路,用方波作为载波。该电路由方波信号发生器、微分电路、全波lO6中图分类号:睨,Sdced微机械电容式加速度计的主要不足是受寄生电容影响常用:一类是直流充放电测量电路;另一类是交流法电容测其优点是抗杂散电容、电路简单、成本低。其缺点主要是采c_yH1高信噪比”1疚乃杓频牡缏凡捎蒙鲜种电路的结合,是基于电容充放电的积分电路来实现疺的转换。电流与电容两端电压之间的微分关系来组成微分电路,通l=玞,并接碍,增加了高通滤波特性,可以抑制原始电2006258(7rhnsducerTechnoloes)斜贝笱У缱涌蒲в爰际跸档缱硬馐约际豕抑氐闶匝槭遥轿魈惦摘要:通过对电容式加速度计的差分电容检测电路优缺点的比较,结合直流充放电检测方法和牟罘值缛荩移浞窍咝远刃∮凇纋%,可作为电容式加速度计的后续处理电路。关键词:电容式加速度计;差分电容;全波整流A文章编号:——一,EItmnic酣,経035lChiIIa)印,曲柚dirence鷇wordscacitivecacitytheO言微机械电容式加速度计是以技术为基础发展起来的微型加速度传感器,其敏感部位为差分电容结构,可H由于电容式加速度计具有精度高、噪声特性好、漂移低、温度敏感性小、功耗低、结构简单等优点,逐渐成为硅微加速J大。目前,有两类能抑制杂散电容的电容测量电路最为量电路。直流充放电电容测量电路典型分辨力是用直流放大有漂移以及开关的电荷注入效应影响了交流法电容测量电路是公认较好的一种。因为它克服了直流充放电型所固有的缺点,可抑制杂散电容,低漂移、实现使用方波作为载波信号,克服了使用正弦信号发生器受温度影响的缺点,经试验验证:可检测到。F容。1其测量原理是利用典型的微分电路,利用流过电容的1i=i即输出电压与输入电压的微分、电容值和电压值成正c于电容器充放电时的波形,其充放电周期下与输入方波信}(5**********)(20051040)binedmeurement而—±瑃比‘。收稿日期:一—waysadiHerentialdesignedThe,。ali甧o。
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押琹丽磊卧—网匿蕊辒嗍賚’晤丽厥磊瞄蛎丽羽coutateDon咖磒觚tdUne方波信号通过加速度计,检测差分电容的变化。电容不同,通过微分电路后的峰峰值不同,其中的一路输出信号通过运算放大器后再反相,即聪嗥骱笪R籙,再通路滤除脉动电压中的交流成分,保留直流成分,可得与差分于截止状态,相当于断路;当以lpF45本文设计了一种微小差分电容检测电路,可实现差分加速度计微小差分电容的测量和其他电容式传感装传感器与微系统第卷叩22奚雂过加法电路实现电容的差分检测。用全波整流电路把经放大后的交流电压以变成单向脉动电压以,再通过滤波电3图中,%是由一仉和%经加法器后放大得到的,配(u+u)导通的作用下加到后面三极管栅极上的电压为籙,钡缪挂籾作用在三极管的栅极上时,该三极管处V=月。,则。,玑U>0实现了波形整流。经后续的低通滤波及反相放大来实