文档介绍：
2010年第 24卷第 1期测试技术学报 2010
(总第 79期) ﹢﹨﹦﹢﹥﹦﹢﹦﹦﹦﹤﹪﹩(Sum )
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文章编号:16717449(2010)01007806
高温环境下 MEMS微构件动态特性
测试技术研究
李晓轲1,王晓东1,2,佘东生1,张涛1,王立鼎1,2
(,辽宁大连 116024;
,辽宁大连 116024)
摘要: 基于放电激励方法建立了高温环境下 MEMS微构件动态特性测试系统,该系统主要由激励装置、
激光多普勒测振仪、,通过进给机
,包括微构件安装板、十字载
台、,其振动响应信号由多普勒测振仪测量,计算机对测量数据
LabVIEW 的微构件温度控制软件,
统,测试了微构件在室温~500℃环境下的谐振频率,得到了谐振频率随温度变化规律.
关键词: MEMS;动态特性测试;高温;放电激励;激光多普勒测振仪
中图分类号: TH825 文献标识码:A ┄:
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LIXiaoke1,WANG Xiaodong1,2,SHEDongsheng1,ZHANG Tao1,WANG Liding1,2
( ofLiaoningProvince,Dalian116024,China;
traditionalMachiningTechnologyofMinistryofEducation,
DalianUniversityofTechnology,Dalian116024,China)
﹢┈┉┇┉: A dynamictestingsystem forMEMSmicrostructureinhightemperaturebasedonpoint
dischargewasdeveloped,posedofexcitationdevice,LaserDopplerVibrometer
(LDV) and temperaturecontrolsystem. Theexcitation deviceused theshockwavegenerated by
dischargetoapplyashockexcitationto