文档介绍：�������������
前言
��本标准代替����������������超高真空法兰结构型式》�����������������超高真空法兰
尺寸》����������������《超高真空法兰用铜密封垫》。
��本标准与�����������������������相比主要变化如下�
��—将�,的负公差调整为正公差�
��—对部分法兰的基本尺寸进行了调整,将外径���改为�������改为�������改为�������
����改为�������改为����
��—增加了������������规格�
��—刀口处向内倾斜��,刀口总深度由原�����调整为������
��—法兰的烘烤温度由原���℃改为不大于�����
��—法兰公称通径��直通到法兰刀口底面�
��—调整了铜密封垫的环带尺寸�
��—为方便使用将图和对应的表排在一起。
��本标准由全国真空技术标准化技术委员会�������丁����提出并归口。
��本标准负责起草单位�中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司、沈阳真空技术研究所。
��本标准参加起草单位�杭州大和热磁电子有限公司。
��本标准主要起草人�张廷阁、钱幼林、史雪松、张明达、李稻田。
��本标准所代替标准的历次版本发布情况为�
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超高真空法兰
范围
��本标准规定了内焊型、松套型、盲型超高真空法兰�以下简称法兰�和铜密封垫的型式、尺寸及技术
要求。
��本标准适用于超高真空系统中公称通径为����������用铜垫密封的不锈钢法兰及铜密
封垫。
�规范性引用文件
��下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有
的修改单�不包括勘误的内容�或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
�����������所有部分�极限与配合基础
���������������加工铜及铜合金化学成分和产品形状
���������������不锈钢棒
型式与尺寸
���法兰与接管的连接型式应符合图�的规定,尺寸应符合表�的规定。
���内焊型法兰的型式应符合图�的规定,尺寸应符合表�的规定。
���松套型法兰的型式应符合图�的规定,尺寸应符合表�的规定�
松套型法兰肩环�以下简称肩环�的型式应符合图�的规定,尺寸应符合表�的规定。
盲型法兰的型式应符合图�的规定,尺寸应符合表�的规定。
�‘�铜密封垫的型式应符合图�的规定,尺寸应符合表�的规定。
技术要求
���法兰的公称通径一般与接管内径一致,但在不妨碍法兰连接的情况下,可以适当改变。
���公称通径小于����的法兰或肩环,可与接管制成一体。
���接管与法兰或肩环的内焊缝为连续氢弧焊焊接。
���法兰烘烤温度不大于�����。反复烘烤时,密封处漏气率小于����������· ����
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