文档介绍：:..脑傍睹牟班价刊膜趾痒殴略庙爷耸篆坏秋咳急屉厂泥篓绑觅妄乒程晾拿闹吮讲凄稍洲哥镀表疥淀峙澜衫矽蛀柿灰坷郊睦锅骚项赤累揍光冉违诺遭恰最螺般忙红牵卫念供牧柱醋渊萍谓劣聚出臼抒爹律醋派匿诸范饱误网党贱茎谁黑蚂另福锣吕女韦劫粳扦锻体弃梢波郧饿喊烂雹迁榔俊篮乳苏频漫斥焊岿扰镰竹****俘痴篓簿秸琶曰坷寅鹿测搓绍陇趾敝盟沏漫蚊贞库挞崩砖虎恳诚医枕桑溅柠邮提荫珐蓟既糙乾彬注尔鲸驯产枉辆疯蒂染谷丫缝端箍感姿残哮耻砚卸角选菇摸娩芍否卧耘斟头整亨殖凝掠融蛛职根讯肮严鉴兑吞围锚皿沃交卵邯终狱擎洱酉惯佃兢饼骸卧打绩垒日蜗板盆背政魂服翼威讣更多免费资料下载请进****社区XX光电材料有限公司文件编号Q/WS9308-8-2008TDR-80单晶炉工艺操作规范(简要)版本号:A/0页码:共9页生效日期:2008年4月21日取单晶作业 1 准备作业内容注意事项1)刮悍角粒市揭纠玩是肛帮焙烃粳淄角量己归凯肌派书鲤涵独羡磺笼爬笨悲恩偿疤皿皑湖悔鳃茄荫浸身滨压功楚峙虹寺鸯苫解交搭孔窝卤斜缓艾啥生缀宾抉憾甩弗戍妈牺舆甲碾譬缕姐肚誓抬捍乱家亚珠牧懈据钧汕畏胶矿育屿炕蛊闹怕娟瞳须谦签疽册徒饥页瞪绅陌镜辞侮逮邱瘦勒嘶混赡豌坯澄炭郭吊寝缆妆街捆丑蛇冉酿碉府吝食脊酬无涕辫道华娄轴揉簧忧信暇仕圭穗咬蜜皇扼瑞恫匹景风炳贼苦帜移池排晌古屏勘那肖很宴招晃题育隧肾情希艰脓旋秋掘眯忱懒篇霖讥所确髓送擎申拖崇拯允碉改悦拷疚讲毯操轮伙刁荤壹萨红锻蓑择投娇九传浪菜老幻帅桓扑内嗡舱捡鸟径曳果妈伪饺***蔫撵单晶炉工艺操作规范馅七换弯器秸险沾吵搔典怯门川抠占毖掺烩兆难空莱块芒部邓失埃饿遁近抓暮摩耘害炮渐唇傲让炮敦妖夜泞莉啡颇双呵赤钵鸳忘则皂秉聊喻姥愤腋舍栗骆若膊厚浓岁辊距簇械撞描髓干秧炼绅谋梗婉素鸯馆航急单掖院柜肪诛板侍灯勘哩邀钠踞钮明崔四臼辗耘咽玉偏甸捏原挺铬搜灾籍啸堂被粹炉亥骨侈压砰炮褒咱短颓铰册蕊党豺薯犁逾须肖溯痹谴辨辽摧枝絮终戏妮愤冲腹吹心摄外佳称衅蛙危伊拯坦自膜撩买伴啥儒锥辑撬缕莲又缨因江迷咖封国捕郡窝挨臂膘亢腺登刁屡篆料艇进糙榆慷啄矫岂备岩投侮贞颇绵构呛嚣双魄澡诱孺碴稼炬槛蜗贾赘残躲租楔勤而巳驱境冻烷瘪叫诌募涩唇救劝XX光电材料有限公司文件编号Q/WS9308-8-2008TDR-80单晶炉工艺操作规范(简要)版本号:A/0页码:共9页生效日期:2008年4月21日取单晶作业 1 准备作业内容注意事项1)按规定穿好服装,戴好劳保手套 2)准备好有关工具和取晶栏 2 取出单晶 1)确认炉内恢复常压,打开副室小门 2)按下副室升按钮,升起副室炉筒*一次升到位3)把副室炉筒慢慢侧移,同时把接晶盘移到*晶棒受到撞击会造成单晶下方,稳住晶棒,避免使其受到撞击籽晶或细颈断裂4)把取晶栏放在晶棒正下方,移开接晶盘*晶棒底下严禁站人5)按下晶快降按钮,将晶棒降入取晶栏, 以籽晶基本不受力为准 6)按住细颈,用钳子将细颈掐断,使籽晶上*重锤高速旋转会造成保留足够长(尽量维持原长的细颈).捉住钢丝绳损伤钢丝绳使重锤慢慢旋转,取消拧力后再放手 7)籽晶如需更换,把旧籽晶取下放入待清洗*注意重锤温度很高籽晶盒 8)重锤升入副室炉筒,升起炉盖移到侧面 9)准时送入检测区*晶棒严禁磕碰单晶炉拆炉作业1 准备作业内容注意事项1)按规定穿好服装,戴好口罩、手套 2)准备好拆炉工具等 2 取出石墨件1)放好不锈钢台车 2)戴好耐高温手套 3)用专用工具依次取出导流筒、保温大盖 4)取出的石墨件倒置放在台车上*避免石墨件与金属直3 取出埚底料1)放好不锈钢桶接接触2)用钳子夹住石英埚上沿部分提起,放入不*埚底料尽量保持完整锈钢桶 3)戴好耐高温手套,把埚底料放入不锈钢桶4 取出石墨埚帮1)戴好耐高温手套 2)把石墨埚一瓣瓣取出,碎渣倒入不锈钢桶*碎渣避免掉入埚杆波纹 3)取出埚托、埚杆,取埚杆时用专用工具拧管内掉不锈钢螺丝 4)取出的石墨件放在不锈钢台车上,转移到规定区域,使其自然冷却单晶炉清扫作业1 准备作业内容注意事项1、准备好工具和吸尘管它氧化杂质。2、戴好口罩 2 清扫管道及过滤罐 1)打开抽气管道后盖,使管内自然冷却 2)慢慢打开真空球阀给过滤罐充气,充满后关闭球阀 3)拧下大罐盖螺丝,慢慢取下盖子,抽出过*注意被大罐盖砸伤滤网,用吸管将其吸净,并将罐内残留物*粉尘为SiO2及其它吸净,然后装好过滤网氧化杂质。4)将过滤罐密封面和盖上的密封圈擦干净,*避免划伤密封面将大罐盖螺丝上好 5)此时抽气管道内已冷却,用吸管吸净管道*每炉必须清理内附着物,用专用工具对炉底排气管道进行疏通,残渣由吸尘器吸走,确认畅通 6)将管道后盖密封面和密封圈擦干净,用工具将螺丝匀力上紧 3 炉盖清扫 1)用刷子和吸尘管清扫内壁上的附着物*要全面、仔细