文档介绍：机械设计论文微型机械技术及其应用研究班级:学号:姓名:前言微型机械是上世纪80年代末出现的一种微型电气机械(装置、系统或器件),微型机械的出现,一方面是现代科技发展的需要,另一方面也反映了人类对事物极限本质的认识和追求。微型机械的尺寸以毫米、微米甚至是以纳米计。微机械技术从技术角度来看,它是机、电、磁、光、化学、计算机、自动控制、传感技术与信息处理等多种技术的融合,从产品角度来看,它是利用集成电路微细加工技术或某些特殊功能材料,将机构及其驱动器、控制器、计算机、传感器、电源等集成在一个微小体积范围内发挥机械功能的机电一体化产品,是一个微电子机械系统(MEMS)。到现在微型机械技术已成为在国际上一个十分重要而又非常活跃的学科领域,它将带动各种学科的深入发展和促进新学科的诞生。美国、日本和欧洲等发达国家为了争夺21世纪的高技术市场,以较大的投入从事微型机械的研究与开发。据1999年2月《中国机械工程》第10期报道,,,。据最新消息,目前全世界约有600家政府、大学和私人企业所属的实验室在进行微型机械技术的研究和开发。一、微型机械技术微型机械技术包括传感器技术、微型发动机技术、MEMS技术、纳米技术、微电子技术、、机械制造、计算机、微电子、自动化、机器人、、整体的涵义。微型机械的发展有赖于微型机械加工技术水平的提高,。常用的微型机械加工技术有以下几种:1、集成电路加工技术这种加工技术是一种平面加工技术,这种技术的刻蚀深度只有数百纳米且只限于制作硅材料的零部件。2、光刻技术这种方法首先在基质材料上涂覆光致抗蚀剂,然后利用极限分辨率极高的能量束通过掩膜对光致蚀层进行曝光或称光刻,显影后,在抗蚀剂层上可获得与掩膜图形相同的极微细几何图形,最后,再利其他方法便可在工件材料上制造出微型结构。3、光刻电铸和准LIGA技术利用A射线光刻与牺牲层技术可在任何种类和数量的材料上形成深层的微结构,准LIGA技术是对LIGA技术的改进,使其更加实用化。4、腐蚀成型技术这种加工技术先将光刻后的硅体用腐蚀剂白蚀,脱去牺牲层而留下加工层,再制作工件并经清洗后得到成品。5、键合技术硅硅直接键合的主要研究方向一是降低键合的温度,二是改进通过硅=硅直接键合形成表面薄的SOI层的技术。二、微型机械的应用领域目前,微型机械已经从研究状态进入了工业化的生产阶段,微机械技术正处于蓬勃发展的时期,随着人们对微型及微组件使用的要求越来越高,微型机械应用于越来越多的方面。特别是微电系统的一些初级产品,如硅压力传感器、硅微机械加速度传感器已逐步进人产业化。微机械产品大约90%以上属于非活动部件,主要应用各种微传感器;10%是活动部件,可作为执行机构由于微机械主要基于集成电路制作方法,批量大,成本也就低,可以作为一次性使用,无需备件与维修,预测未来将广泛应用于医学、航天航空、农业、工业以及家庭服务各方面。1、医疗方面微型机械在医疗中的应用令人惊叹。,