激光剥蚀电感耦合等离子体质谱LAICPMS测定碳化硅粉末中痕量元素.pdf

文档介绍：激光剥蚀电感耦合等离子体质谱)测定
碳化硅粉末中痕量元素
周慧汪正朱燕
中国科学院上海硅酸盐研究所,上海
碳化硅因具有化学性质稳定、导热系数高、热膨胀
系数小、耐磨性能好等特征,被广泛用作磨料和汽缸体
内壁,延长仪器的使用寿命。此外碳化硅晶体具有优良
的导热性能,是一种半导体,在电子工业上有广泛的应
用。但碳化硅的纯度及其杂质的含量和分布对晶体性质
有重要的影响,所以对其中元素的检测显得尤为重要。