文档介绍：低温等离子体化学气相沉积∧摘要程的基础上,:很明显,在专业:微电子学与固体电子学申请人:郭超峰导师:陈俊芳本文中实验采用金属有机物化学气相沉积方法制备∧ぃ谑笛楣程中,首先使用电子回旋共振等离子体技术,在反应室中产生了活性物种丰富的低温等离子体,利用磁场梯度的输运作用,在样品台的衬底上生长出∧ぁ本文在阐述实验所涉及的基本知识、相关理论、实验装置以及实验工艺流及处出现了活性的特征峰,在处出现了活性奶卣鞣濉研究得出:.中的反应以的激发、电离矛的热分解为主。此外,等离子体中也存在着聚合反应,其对∧さ男纬伤鸬淖饔没褂写进一步的研究。∧さ耐庋由な窃诔牡咨辖械模虼耍匦刖缮鲜龅钠反应过程向衬底反应过程的过渡。影响∧どさ闹饕R蛩赜校悍从κ移压、衬底、生长温度和衬底杂质。依据已有的报道及本实验的研究认为:衬底反应以和墓布奂衔V鳌对样品进行了和碚鳌图谱表明:在底上生长的∧こ鱿至薌和苌浞澹辉赟衬底上生长的∧こ鱿至薌和苌浞澹灰岳侗κ和玻璃为衬底的样品未有明显的苌浞宄鱿帧K得髟赟牡咨现票傅腉华南师范大学硕士毕业论文
关键词:为多晶态,但是,在蓝宝石和玻璃上生长的廊淮τ诜蔷ё刺:焱馔计表明:,其生长模式在∧ぷ愎缓竦氖焙蛴扇J阶;6J健本实验的特点及优点在于逅诘牡臀碌壤胱犹迳せ肪辰ù蟠蠼低目前因异质外延生长庇扇扰蛘拖凳钜焖鸬娜仁洌佣顾长的宓闹柿扛饔谟帕肌∧甅生长过程生长机理华南师范大学硕士毕业论文低温等离子体化学气相沉积∧Ⅱ
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第二章实验装置及低温等离子体法沉积∧すひ铡璶目录第一章;‘绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯:⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...。本课题的研究背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。∧ぶ票阜矫娴难芯拷埂本文中所涉及的实验方法的理论背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。奶匦约氨臼笛樵次镏实奶匦浴本课题中∧さ闹票阜椒ḿ把芯糠较颉本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..熘释庋覩常用的衬底材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯∧さ闹票阜椒ā∧⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.∧さ闹票阜椒ḿ捌溆诺愫吞氐恪本论文的研究方向⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯实验装置⋯.:⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯...∧●,●●
第三章等离子体中的化学成分及相关反应分析⋯⋯⋯⋯。等离子体密度诊断及制备∧さ墓ひ樟鞒獭本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.光栅光谱仪及其工作原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.婵障低场#河骸配气系统⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...。.淙聪低场样品台⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..:⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯:⋯⋯⋯⋯等离子体密度分布的诊断方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..秸胝锒舷低撤椒ḿ暗壤胱犹迕芏确植肌制备∧さ墓ひ樟鞒獭基于等离子体发射光谱的等离子体成分及相关反应分析.................................................................................................:壤胱犹宸⑸⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..迳す讨械挠跋煲蛩亍衬底取向对晶体生长的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.の露榷訥晶体生长的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯........................................................。:........................::.低温等离子体化学气相沉积∧
.砻嬖又识訥薄膜的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第五章∧ぱ返谋碚骷吧せ坪蜕つJ椒治觥样品的红外光谱分析⋯⋯⋯⋯⋯。⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。§.红外光谱分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯∧ぱ返腁表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯∧さ纳つJ椒治觥第六章结论与展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯宓纳す谭治觥骸气相输运过程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.喾从ο蛳虮砻娣从Φ墓伞衬底表面的反应分析⋯⋯⋯