文档介绍：感应耦合等离子体增强化学气相沉积法制备多晶硅薄膜摘要在石油、天然气等传统能源价格不断上涨的今天,可再生能源——太阳能的专业名称:微电子学与固体电子学申请者:孟然导师:陈俊芳研究已经成为全世界科研组织研究的重点。并且,随着对第三代薄膜太阳能电池研究的深入,为了提高多晶硅、微晶硅薄膜太阳能电池的光电转换效率,并使得太阳能电池走进人类的日常工作、生活,制备高质量、低成本多晶硅、微晶硅薄膜是必然的解决途径。本文采用感应耦合等离子体增强型化学气相沉积技术低温、低耗能制备多晶硅薄膜。首先利用朗缪尔探针诊断了反应室腔体内等离子体参数,得到了反应室腔体内各个位置的离子密度和电子温度空间变化规律,腔体内离子密度随脑高而逐渐变大,但均匀性和稳定性逐渐降低。在细叩腎ⅱ笄缱游露随脑龃笱杆俦湫。虼嗽趆的诳梢钥醋魇且豢榈壤胱犹迕芏任定的区域,适合大面积的制备实验样品。在一定的工作气压下,增加射频功率会使等离子体密度增大,但存在趋向于饱和的趋势,因此。综合射频功率、工作气压对离子密度的影响,判断在进行大面积均匀等离子体工艺沉积薄膜过程中,应避免采用过低工作气压。为了独立控制等离子体鞘层附近区域的离子密度和能量分布,采用光发射光谱饬考际酰圆煌ぷ髌购蜕淦倒β氏赂杏︸詈系壤胱犹鞘层附近区域的辉光特性进行了研究。在放电气压为,.淦倒β饰
处的心确⑸涔馄滋卣鞣宓某鱿帧1∧ぱ返谋砻嫘蚊簿日搿⑽廾飨匀毕荨和心为反应气体分别在单晶硅和载玻片衬底上沉积制备多晶硅薄膜。关键词:多晶硅薄膜、壤胱犹濉⒏紫∈汀⒌壤胱硬问,,玫搅穗驳壤胱犹迩什愀浇虻姆⑸涔馄住T悠紫吆屠子谱线特性分析表明,在鞘层附近区域感应耦合等离子体具有较高的离子密度和较低的电子温度。改变放电气压和射频功率,对得到的光谱特性分析表明,鞘层附近区域离子密度随射频功率的增大而线性增大,在低压下随气压的升高而增大。低激发电位原子谱线强度增加迅速,高激发电位原子谱线强度增加缓慢,而离子谱线强度增加很不明显。通过对探针诊断和紫叩姆治觯髡は氲腎实验系统,在射频功率,工作气压,衬底温度℃条件下,采用許对得到的实验样品薄膜的、确治霰砻鳎涸诘壤胱犹迩什愀近区域观察到的的·,腍,,以及一致性高。实验制备出的样品薄膜厚度为渲械ゾЧ璩牡椎难繁∧さ腦射线衍射图在晶向显现衍射峰,为,呈微晶态。载玻片衬底的样品薄膜显非晶态。摘要
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目录第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯.⋯⋯⋯⋯⋯.课题背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..多晶硅及其薄膜⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...∧∧さ某<椒ā本文研究的主要内容及特点⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..静电探针诊断原理概述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.壤胱犹宀问诜从κ仪惶迥诘姆植肌反应室内等离子体密度与射频功率、工作气压之间的关系。⋯⋯⋯..小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯.第三章氩等离子体光发射光谱特性⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯.不同工作气压下氩等离子体的光发射光谱特性⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯.不同射频功率下氩等离子体的光发射光谱特性⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯.小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯第四章感应耦合壤胱犹逯票腹璞∧さ淖爸眉捌涔獭目录
.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第五章实验样品薄膜的结构、性能测试与分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..样品薄膜沉积环境的光发生光谱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...∧ぱ返闹票浮样品薄膜的蚊病.∧∧さ腁形貌⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..样品薄膜的苌淦淄肌小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第六章结论及需要进一步解决的问题⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯结论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..需要进一步解决的问题⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯.⋯..⋯⋯⋯⋯.⋯⋯制备多晶硅薄膜的实验装置⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..繁∧こ粱肪车墓夥⑸涔馄住样品薄膜的厚度分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯目录
第一章绪论能源主要有煤、石油、天然气、核能等自然矿物能源,随活水平的提高,这些不可再生的、有限的自然资源却在逐所引发的经济发展和环境污染等问题近年来日渐凸显,甚际间双边、多边的矛盾冲突、局部战争也屡见不鲜,所有这些已经严重地影响了广大爱好和平的世界民众的正常生活。找寻绿色环保、成本低廉、储量丰富的可替代能源已成为了目前全人类社会的重要议题。经过各国科学家的多年探索,太阳能以它取之不尽用之不竭的特性获得了