文档介绍：摘要关键词:氧化铟锡薄膜;钽掺杂;光电性能;欧姆接触;发光二极管本论文研究了钽鹗舨粼拥难趸魑薄膜的光学性能和电学性能,以及其实际应用。通过在氧化铟锡%胁羧腩憬鹗质量百分比为%芯苛钽掺杂氧化铟锡透明导电薄膜的光电综合性能;,研究透明导电薄膜与偷;之间的欧姆接触。首先,以电子束蒸发技术将钽掺杂氧化铟锡靶材蒸镀于玻璃片上,形成掺杂该鞯嫉绫∧ぃ偻过不同温度下的退火处理,研究透明导电薄膜的综合性能。在最佳蒸镀条件下,作出传输线模型器件后,研究透明导电薄膜与虶的欧姆接触,并进一步制作出酒芯縇的光学和电学性能。在实验结果方面,以蒸镀时衬底温度为℃,钽金属质量百分比为%的掺杂浓度,所制备的掺杂该鞯嫉绫∧,在氮气氧气氛围下经过嫱嘶分钟,得到与虶较低的欧姆接触电阻.בV谱魉得蓝光骷谧⑷⑾郑涫涑龉β蚀耸痹黾恿ァ/华南师范大学硕士学位论文
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第二章理论背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第三章基本实验流程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯目录第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.研究动机⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯发光二极管的工作原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯透明导电薄膜⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯实验制作基本步骤⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.研究背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..金属与半导体间接触原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.../⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯霍尔效应原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯传输线模型圆点传输线模型⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯刻蚀⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯蒸镀⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯退火⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.
第四章掺杂该鞯嫉绫∧す獾缧阅苎芯俊作者攻读学位期间发表的学术论文目录⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第五章豆釲光电性能研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。结论.......。。。。..⋯......。.。...⋯⋯.......。......。.......。..。。。.......。....参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.于录⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯至炙谢。.。........。。...............。....。..。.。。.。..。...........。.......。......。..敕ā掺杂∧そ峁狗治觥掺杂∧さ缪阅芊治觥掺杂∧す庋阅苡跋臁接触电阻测量分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯光学性能分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..蓝光阅芊治觥华南师范大学硕上学位论文目录
第一章绪论研究背景金属氧化物透明导电薄膜由于对可见光具有很高的透过率%⒌阻率非常低纱~等优异的光电性能,因而在⑵桨逑示器、太阳能电池等领域得到了广泛的应用【¨】,其中使用最多的透明导电薄膜是锡掺杂氧化铟虺蒲趸魑∧ぁ>」苎化铟锡该鞯嫉绫∧ぴ诤芏嗔煊蛴τ霉惴怯捎谄浯嬖诨性能和热学性能不稳定、光学性能和电学性能有待提高等缺点。例如对于作为腜型层电极来说,不仅要求薄膜具有优异的电学性能缱杪,而且还要求具有良好的光学性能腹饴。氧化锡或者氧化铟∧し直鹜ü粼右恍┰K睾螅仅可以获得优异的光电性能,而且薄膜具有良好的力学性能、化学耐久性、热稳定性】,其中研究比较多的是氟掺杂氧化锡虺、锑掺杂氧化锡虺艫㈩巡粼友趸、钼掺杂氧化铟甦和锆掺杂氧化铟薄膜。但是氟和锑元素具有一定的生物毒性,应用范围受限,而钛、钼和锆掺杂的薄膜光电性能没有氧化铟锡鄌乓臁R陨隙际侨K氐耐该鞯嫉绫∧ぃ悴粼氧化铟锡该鞯嫉绫∧な撬脑K氐耐该鞯嫉绫∧ぃ诠庋阅堋⒌缪性能、化学性能以及热稳定性方面都比三元素薄膜有显著提高。铟锡氧化物哂辛己玫耐腹庑院偷嫉缧裕谘趸锏嫉缒ぶ校掺的:膜的透过率最高和导电性能最好,而且容易在酸液中蚀刻出细微的图形,其中透过率以达%以上,因此,诠獾缱恿煊蛴凶殴泛的应用。沉积过程中,∧ねü蹩瘴缓蚐粼尤〈纬筛叨燃虿⒌膌桶导体,有很高的载流子浓度~癱暗偷牡缱杪·4送猓琁的带隙较宽钥杉夂徒焱夤甦华南师范大学硕士学位论文
具有很高透过率。尤其在蓝光区域,的电阻率,作为豆釲电极材料的潜力巨大。热搜芯了狦电极,发现恼虻缪固ǜ卟荒苈阌τ靡G笈;ü齆峁乖诳掌。嘶鹛跫滦纬傻徒哟サ缱率、高透光率的缂ā。目前,