文档介绍：硕士学位论文
MASTER DISSERTATION
镁合金表面离子束复合形成 Ti-Al-N 薄膜研
究
The Research of Ti-Al-N Film on Magnesium
Alloy Surface by Using Ion posite
Processing Technology
作者李根
导师张高会教授
学科材料物理与化学
中国计量学院
二〇一三年三月
The Research of Ti-Al-N Film on Magnesium
Alloy Surface by Using Ion posite
Processing Technology
By
Gen Li
A Dissertation Submitted to
China Jiliang University
In partial fulfillment of the requirement
For the degree of
Master of Engineering
China Jiliang University
March, 2013
独创性声明
本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和
取得的研究成果,除了文中特别加以标注和致谢之处外,论文中不包含其
他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得中国计量学院或
其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研
究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。
学位论文作者签名: 签字日期: 年月日
学位论文版权使用授权书
本学位论文作者完全了解中国计量学院有关保留、使用学位论
文的规定。特授权中国计量学院可以将学位论文的全部或部分内容编
入有关数据库进行检索,并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编
以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁
盘。(保密的学位论文在解密后适用本授权说明)
学位论文作者签名: 导师签名:
签字日期: 年月日签字日期: 年月日
中图分类号 +3 学校代码 10356
UDC 673 密级公开
硕士学位论文
MASTER DISSERTATION
镁合金表面离子束复合形成 Ti-Al-N 薄膜研
究
The Research of Ti-Al-N Film on Magnesium
Alloy Surface by Using Ion posite
Processing Technology
作者李根导师张高会教授
申请学位工学硕士培养单位中国计量学院
学科专业材料物理与化学研究方向镁合金表面处理
二〇一三年三月
致谢
本论文是在导师张高会教授的细心指导和帮助下完成的,在此我对他表示
由衷的感谢和深深的敬意。感谢张老师在我攻读硕士学位期间,对我学习和生
活上的细心关怀和热心的帮助。他渊博的学识,严谨的治学态度,对待科研教
育认真负责、创新的态度,及孜孜不倦的钻研精神,永远值得我学占老师对我的论文提出的宝贵意见,使得论文的条理更加清晰,
表述更加准确。
我将永远怀念和黄国青、施远驰、杨杭福等师兄弟们一起朝夕相处、互助
互爱、共同激励进步的日子。
我今天硕士论文的顺利完成,离不开父母无微不至的关怀和老师们的谆谆
教诲,离不开一直关心我的朋友和亲人。在此我对他们表示衷心的感谢和深深
的敬意。
李根
2013 年 3 月
镁合金表面离子束复合形成 Ti-Al-N 薄膜研究
摘要:镁合金作为一种理想的现代工业结构材料,具有导热性、导电性优
良;无磁性及电磁屏蔽等特性,应用广泛且需求量逐年增加。然而镁合金
较差的耐蚀性和耐磨性严重制约了其在多个领域的应用。Ti-Al-N薄膜作
为硬质薄膜的一种,在硬度、耐磨性及高温氧化性等方面均表现出优异的
性能。考虑到磨损、腐蚀总是从表面开始,采用表面复合处理的方法在镁合金
表面制备Ti-Al-N薄膜,既保留镁合金的特性,又达到了提高其耐磨、耐腐蚀性
能的目的。使用自行设计的MIB-700多功能离子束联合溅射设备,采用磁控溅射
与离子注入复合方法在镁合金表面制备Ti-Al-N薄膜,研究了Ti-Al-N薄膜的