文档介绍：CONTENT
1、设备基本构成
2、炉体部分
3、Load station
4、Gas cabinate
5、控制及监控系统
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C扩散炉结构简介
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基本构成—centrotherm
Centrotherm扩散炉机台主体由装载系统，TGA，炉体部分和气源柜四部
分组成。其各部分功能如下：
：用于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内，以及将扩散完成的硅片传送到上料台。
（Toxic Gas Exhaust）：用于驱动炉门，吸收在进舟和出舟过程中可能泄漏出来的有毒气体。
：机台的核心
部分，由五个炉体及相关的电
源系统和控制系统组成。
：用于提供扩散
工艺过程所需的各种工艺气体，
以及将扩散过程中产生的尾气
通过酸排风系统排出。
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C扩散炉结构简介
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炉体部分—centrotherm
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C扩散炉结构简介
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炉体部位包含炉体，控制柜和电源柜三个部分。
炉体部位包含五根炉管，控制柜里面包含着负责工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度控制器，电源柜负责供给整个机台所需的动力电源。
控制柜
动力柜
炉体
控制柜
动力柜
CCC电脑放置处
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C扩散炉结构简介
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动力柜
动力柜中的变压器
机体温度监控
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C扩散炉结构简介
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CCC控制电脑与CMS
CCC控制电脑（ Cell Control Computer ）中包含用于创建和管理recipe的软件CCC-RM（Centrotherm Cell Control Recipe Manager）,用于对CESAR电脑进行集中控制。
CMS （central machine safety），错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉体及电路的温度和冷却系统的工作状况，并将结果显示在CMI电脑用户界面上。
CMS
CCC电脑
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C扩散炉结构简介
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CESAR控制电脑
温度控制器
CESAR 控制电脑(每个炉管有一个):
其作用为：创建或更改recipe，定义recipe变量（工艺时间，温度，压力，气流），start，stop and cancel recipe，数字控制温度，控制气流，装载机组参数设置，与装卸系统进行通讯，监视报警/中断状况（气流，温度，压力），通过级联控制器控制温度，通过级联温度控制进行自动拉温，存储一定数量的recipe，记录用户定义的工艺数据，对正在运行的工艺进行测试（执行工艺步骤，更改变量，设置/重置停止点等）
温度控制器（每个炉管有一个）：
采用REG97温度控制器，硬件部分由controller，transducer，pulse skipping unit组成。
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C扩散炉结构简介
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控制柜
动力柜
UPS电源
炉体
电力配置箱，变压器
动力柜，控制柜，炉体与变压器分布
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C扩散炉结构简介
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Spike TC
温度测量模块
Spike TC 供电
超温监控
CMS（机器安全系统）
冷却水管接口
冷却水管接口
Spike TC
炉体情况
接线柱
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C扩散炉结构简介
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Spike TC
Spike TC（包含两根热偶，一根用于超温报警，一根用于工艺控温）
石英管
工艺气体进气管
Paddle TC放置口
尾气管放置
炉丝及炉管
炉丝与接线柱接口设计
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C扩散炉结构简介
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