文档介绍：半导体设备行业分析报告
真空泵，国产化趋势如何？
 
   
 
 
 
 
 
 
 
     
 
 
 
 
 
核心观点：
真空泵是制造业重要的通用设备，半导体应用占据最大份额，光伏高增长。真空系统是用来获得真空环境的系 统，是半导体、科学仪器、化工、制药行业重要的子系统，应用广泛。真空泵是真空系统重要的组成部分，是 用来产生、改善和维持真空环境的装置。根据 ISVT，2019 年全球真空设备的市场规模约 350 亿元，其中半导 体用真空设备约 135 亿元，占比约 38%，是最大的应用领域，此外光伏领域的真空泵需求正快速增长。
半导体行业存量真空泵的更新占据较大比例，保证需求稳定增长。根据我们测算，2019 年全球半导体真空泵的 设备与服务需求市场规模约 130 亿元，参考 IC sights 对全球晶圆产能的预测，预计到 2025 年市场规模可达到 217 亿元，复合增占率约 9%，保持温和增长，其中存量真空泵的更新占到整个设备市场的 60~70%，庞大的存 量市场保证了半导体真空泵的稳定需求，减小了行业的波动性。根据我们测算，2019 年我国半导体真空泵的设 备与服务需求规模约 31 亿元，2025 年预计可达到 57 亿元，维持稳定增长。
太阳能电池硅片、电池片、组件等环节大幅扩产，光伏真空泵市场规模快速扩张。太阳能发电成本不断降低， 需求进入上升期，根据硅业协会和我们的统计，预计硅片/电池片/组件等各环节 2021 年扩产规模均在 100GW 以上，拉晶、镀膜、层压等环节对真空泵均有需求，下游的大幅扩产预计将带动光伏行业真空泵市场规模的快 速增长。同时，光伏行业现在面临 PERC+/TOPCon/HJT 等技术路线的分歧，设备降本对技术路线影响较大， 设备降本的需求有利于进一步推进真空泵的国产化进程。根据我们的测算，2019 年我国光伏行业对真空泵的设 备与服务需求规模约 亿元，预计至 2022 年可增至 亿元，复合年增长率达 36%。
行业高度集中，国内企业在光伏/半导体领域真空泵已实现国产突破。全球半导体真空泵市场主要由 Edwards、 Kashiyama、Ebara 等少数几家国际知名公司占据，2019 年 Atlas 真空部门的收入约 亿美元，当年在真空 领域的市占率约 53%，处于绝对领先地位。国内以汉钟精机、中科仪为代表的国内半导体真空泵优秀企业已逐 步实现国产替代。汉钟精机
2019 年公司总收入 亿元，其中真空产品收入 亿元，占总收入的 %， 根据公司的业绩快报，2020 年营收总收入 亿元，同比增加 %，维持高增速，目前公司的真空产品 主要应用在光伏领域，根据公司 2019 年年报，公司干式真空泵在国内半导体及一线大厂及设备厂都已导入。 根据中科仪的招股说明书，公司真空泵已进入隆基、晶盛、长江存储等光伏和半导体头部客户，产品力获认可， 2019 年公司销售真空干泵 2546 台，销售收入 亿元，同比增加 %。
一、真空泵：重要通用设备，半导体应用占据主要份额
真空泵：真空系统的心脏，应用领域广泛。真空泵是根据一定的工作原理，用来产 生、改善和维持真空环境的装置，是直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少 的产品。真空泵广泛应用于制药、化工、食品、电子等下游行业，需求量大面广。
通常真空范围可划分三个等级：（1）粗低真空（Low or Rough Vacuum,LV），气 压在760至10-3Torr，主要适用于食品、化工、轻工、制药行业等；（2）高真空（High Vacuum，HV），气压在10-3至10-8Torr，主要适用于集成电路、半导体制造以及各 种镀膜工艺、各种表面加工工艺、离子注入等等；（3）超高真空（Ultra-High Vacuum， UHV），气压在10-8至10-12Torr，主要适用于材料科学分析、物理现象研究、表面分 析高纯材料制备等等。
真空泵从高/超真空到粗/低真空，其产品大致可分14大类：（1）高/超真空----低温泵、 分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵。（2）中真空----干泵、双级旋片泵、罗茨 泵、油增压泵、水蒸气喷射泵。（3）粗/低真空----单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、 往复式真空泵。 也可根据气体传输的原理、工组原理、结构特点等进行分类，从原理上来说，主要分 为变容式与动量式两种，根据结构特点可分为往复式、旋转式、牵引式等，不同的密 封方式、结构特点决定了不同的真空应用范围。
真空泵从高/超真空到粗/低真空，其产品大致可分14大类：（1）高/超真空----低温泵、 分子泵、溅射