1 / 13
文档名称:

编制中《电子工厂洁净厂房设计规范》.pdf

格式:pdf   大小:3,354KB   页数:13页
下载后只包含 1 个 PDF 格式的文档,没有任何的图纸或源代码,查看文件列表

如果您已付费下载过本站文档,您可以点这里二次下载

分享

预览

编制中《电子工厂洁净厂房设计规范》.pdf

上传人:阳仔仔 2021/9/3 文件大小:3.28 MB

下载得到文件列表

编制中《电子工厂洁净厂房设计规范》.pdf

文档介绍

文档介绍:编制中的《电子工厂洁净厂房设计规范》
中国电子工程设计院陈霖新
五年工程建设标准定额制订
《电子工厂洁净厂房设计规范》已列入国家建设部《二
修订计划第二批》建标函】号主编单位是中国电子工程设计院。该规范的编
写工作从年开始筹备以来经过规范编制组的积极工作和相关单位的大力支持《电子
工厂洁净厂房设计规范》征求意见稿己于年月底完成发至近百个设计、科研、企
业单位征求意见并已先后在上海、苏州、深圳、成都召开了征求意见会参会单位及专业
技术人员提出了许多宝贵意见近期还将在北京召开征求意见会。之后将由编写组认真整理
方方面面的意见并在初步完成调研工作的基础上对“征求意见稿”进行修改、补充、完
善将于年初完成“送审稿”年上半年完成报批稿。

制订《电子工厂洁净厂房设计规范》的原由
电子工厂洁净厂房的特点
近年来以集成电路生产、液晶显示器生产用洁净厂房为代表的电子工厂洁净厂房发
展迅速由于集成电路生产的关键技术以每隔两年就会有一次飞跃集成度每三年翻四倍
集成度的不断增大其特征尺寸线宽日益缩小目前特征尺寸为的动态随机存
取存储器已投入生产因此集成电路洁净厂房设计中微粒控制粒径日益缩小而且对化学
污染物的控制要求也十分严格包括重金属、有机物等见表、表。
表集成电路对化学污染物的控制指标




年份




最近更新

中和试验检测仪器创新-全面剖析 38页

生物技术市场前景预测-全面剖析 36页

伦理决策机制优化-全面剖析 36页

一年级语文《静夜思》ppt课件 30页

充分发挥单斗—汽车工艺特点提高企业经济效益.. 2页

偏心环空中幂律流体层流螺旋流流动规律的研究.. 2页

供电企业节能型变压器经济效益分析 2页

体内中子活化分析对活体小动物磷含量的研究 2页

低温技术在金属切削工业中的作用 2页

低剂量电离辐射刺激效应在水产业的应用 2页

优质小麦新品种“郑州8603”品质分析 2页

伊局生产醋酸钠的工艺方法和意见 2页

企业核心知识型人才缺失问题及对策分析 2页

企业人力资源管理中心理学的应用分析 2页

演出场地租赁合同样本 7页

温州房屋租赁合同范本大全 6页

《货币银行学》第八章货币供求与均衡 27页

深圳居民区租赁合同模板大全 6页

从人才招聘视角看职业性向理论的应用 2页

《蝴蝶落我家》美术课件 23页

今年履带拖拉机、推土机市场趋势分析 2页

海外投资合作合同(四) 6页

人体肺胸系统数学模型及强度耐限的研究 2页

产业集聚与城市化耦合关系国内研究综述 2页

交叉培训在提高企业经济效益中的作用探究 2页

沈阳市电子产品分销合同 6页

互感器暂态过程对继电保护影响的研究 2页

云南横向经济联合与协作的发展趋势和对策 2页

二维低频多模态振动能量回收结构的研究 2页

汽油购销合同范本 6页