文档介绍：编制中的《电子工厂洁净厂房设计规范》
中国电子工程设计院陈霖新
五年工程建设标准定额制订
《电子工厂洁净厂房设计规范》已列入国家建设部《二
修订计划第二批》建标函】号主编单位是中国电子工程设计院。该规范的编
写工作从年开始筹备以来经过规范编制组的积极工作和相关单位的大力支持《电子
工厂洁净厂房设计规范》征求意见稿己于年月底完成发至近百个设计、科研、企
业单位征求意见并已先后在上海、苏州、深圳、成都召开了征求意见会参会单位及专业
技术人员提出了许多宝贵意见近期还将在北京召开征求意见会。之后将由编写组认真整理
方方面面的意见并在初步完成调研工作的基础上对“征求意见稿”进行修改、补充、完
善将于年初完成“送审稿”年上半年完成报批稿。

制订《电子工厂洁净厂房设计规范》的原由
电子工厂洁净厂房的特点
近年来以集成电路生产、液晶显示器生产用洁净厂房为代表的电子工厂洁净厂房发
展迅速由于集成电路生产的关键技术以每隔两年就会有一次飞跃集成度每三年翻四倍
集成度的不断增大其特征尺寸线宽日益缩小目前特征尺寸为的动态随机存
取存储器已投入生产因此集成电路洁净厂房设计中微粒控制粒径日益缩小而且对化学
污染物的控制要求也十分严格包括重金属、有机物等见表、表。
表集成电路对化学污染物的控制指标
加
—

年份