文档介绍：EPMA的特点
，元素分布。
分析精度高：万分之1 ～万分之5。
分析区域小：微米数量级。
主要用于成分分析。 可以同时给出微区显微组织和微区成分。
第14章电子探针X射线显微分析
电子探针X射线显微分析仪
第14章电子探针X射线显微分析
第14章电子探针X射线显微分析
波谱仪工作原理
第14章电子探针X射线显微分析
约翰孙型聚焦法
分光晶体
入射电子
接收器
第14章电子探针X射线显微分析
波谱仪（WDS）
X射线在晶体上的衍射规律符合布拉格定律
用一块晶面间距已知的单晶体，通过试验测定衍射角θ，再用布拉格方程计算波长λ，用它来研究X射线谱。
第14章电子探针X射线显微分析
强度
合金钢定点分析—WDS谱线图
图中横坐标代表波长，纵坐标代表强度。谱线上有许多强度峰，每个峰在坐标上的位置代表相应元素特征X射线的波长，峰的高度代表这种元素的含量。在进行定点分析时，可以在某些特定位置测到特征波长的信号，经处理后可在荧光屏或X-Y记录仪上把谱线描绘出来。
第14章电子探针X射线显微分析
WDS分辨率高，最好探测精度可达％，缺点是分析速度慢。
WDS特点
第14章电子探针X射线显微分析
电子探针能谱仪工作原理
不同元素的特征X射线波长不同，特征波长的大小取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量ΔE。能谱仪就是利用不同元素的X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
第14章电子探针X射线显微分析
锂漂移硅检测器能量谱仪的方框图
计算机
锂漂移硅检测器
X射线光子
一个X射线光子造成的电子—空穴对的数目为N，N＝ΔE／ε。
ΔE：X射线的特征能量。
εo产生一个空穴对的最低平均能量。
第14章电子探针X射线显微分析