XPS数据分析方法.docx

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XPS数据分析
纵坐标：
Intensity(cps)
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横坐标：
bindingenergy
（eV）
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XPS数据分析
纵坐标：
Intensity(cps)
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横坐标：
bindingenergy
（eV）
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除了氢氦元素，其他的元素都可以进行分析；先进行宽扫，确定样品有何种元素，再对该元
素进行窄扫。该元素的不同键接方式都对应不同的峰，所以对元素窄扫的峰要进行分峰（分
峰之前要进行调整基线）。如何分峰，不同的键接方式会对应不同的结合能。
第一步：先把元素的窄扫峰用origin画出来；
纵坐标：Intensity(cps)
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横坐标：bindingenergy第二步：调整基线；
（eV）
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选择CeateBaseline-----next------next-----add/modify
证基线水平-----Finish
添加（双击）或去除（
delete）基点，保
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最小化图，会出现调整基线后的坐标。插入一列，
单机右键选择setcolumnvalues输入col（b）-col（d）：即开始纵坐标减去调整基线后的纵坐标。
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再用横坐标与刚开始得到的纵坐标作图
------调整基线后的
XPS窄扫图。
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第三步：对峰求积分面积；
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