文档介绍：等离子体表面处理技术常识
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1、什么是等离子体及怎样建立等离子体；
等离子体
(中文)
=
PLASMA
(英文)
=
电浆
(台湾)
等离子体的发现:
1879、英国物理学家、 W保密性
高频通信
高速传输
低介电常数
低介质损耗因素
耐高温
聚苯醚、***酸脂
聚丁二烯
最常用：PTFE
PTFE&聚四***乙烯
物理特性：介电常数低、介电强度高、介质损耗因素小、半阻燃性、耐热性好；
化学特性：强的耐化学腐蚀性、
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PTFE难以被水润湿的原因
C
C
F
F
F
F
n
（31∽34达因/厘米），接触角大；
，化学稳定性好;
，属非极性分子；
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提高PTFE表面的润湿性能常用的表面改性方法：
1、钠-萘络合物化学处理
优点：具有较好的表面改性效果；
缺点：属湿式化学处理，对环境和人身危害比较大
2、低温等离子处理
优点：属干式处理，省能源，无公害，时间短，效率高；材料表面处理的均匀性好；材料表面能改善的同时，基体性能不受影响；
缺点：设备一次性投入较高
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实验条件和实验检测手段
实验用高频板材：Taconic RF-35(蚀刻表面铜,刷板两次)
实验所用气体：H2、N2
实验设备：OKSUN-PM12A (功率5Kw、频率：40KHz)
实验条件
实验检测手段
SEM(扫描电子显微镜)
XPS(X射线光电子能谱)
剥离强度测试仪
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实验数据的分析
表面显微结构分析
(a) 未进行处理
(b) 处理10min
不同时间的等离子体处理对PTFE板材表面粗糙度的影响
(c) 处理30min
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(a) 2Kw
(c) 4Kw
不同功率的等离子体处理对PTFE板材表面粗糙度的影响
(b) 3Kw
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结论：
1、等离子体处理时间越长，表面的突起物会增多，比表面积会增大。
2、而随着功率的增大，表面突起物增加和比表面积增大。
原因：
其一：带电离子溅射侵蚀。
其二：化学活性基团化学侵蚀。
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XPS表面分析
项目
C
F
O
N
-C-N
N-C=O
-NH
-NO
改性前

0
0
0
0
改性后

2

等离子体处理前后PTFE基材表面元素及化学键组成 At. %
等离子体处理前后PTFE基材的XPS光谱
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结论：
1、等离子体处理后材料表面突起物增多，比表面积增大；（SEM）
2、等离子处理后材料表面含有含氮含氧等亲水基团；(XPS)
1、表面粗糙、增大接触面积；
2、表面含亲水基团增大亲水性
表面改性
PTFE分子结构改性
亲水基团改性
C
C
F
n
F
F
NH2
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处理前的水滴
处理后的水滴
1、亲水性改善实验
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局部放大
局部放大
2、等离子体处理前后RF-35板材孔内镀铜的SEM照片
等离子处理前
等离子处理后
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(a) 改性前基材表面的沉铜情况
（b)30min改性后基材表面的沉铜情况
3、等离子体改性前后PTFE基材表面沉铜情况
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改性前基材表面的阻焊情况
30min改性后基材表面的阻焊情况
4、等离子体改性前后基材表面丝印阻焊情况
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小结：
SEM和XPS
分析
等离子体改性实质：
1、增大比表面积
2、使表面带有亲水基团
原理分析：
几组表面改性实验：
1、表面清水性改善
2、PTFE基高频板孔内镀铜实验
3、PTFE基材表面沉铜实验
4、PTFE基材表面丝印阻焊实验
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4、等离子处理用到那些气体
氮气(N2)
氧气(O2)
氢气(H2)
氩气(Ar2)
四***化碳(CF4)
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