文档介绍：制绒刻蚀设备堵片处理流程
堵片发生的原因
可能是设备的某处存在碎片现象。
可能是生产操作人员的上料操作不当，投片间距过小造成。
可能是设备的某处传动滚轮不平造成。
堵片后的处理流程
当生产相关人员发现设备某处发生卡片、堵片现象后制绒刻蚀设备堵片处理流程
堵片发生的原因
可能是设备的某处存在碎片现象。
可能是生产操作人员的上料操作不当，投片间距过小造成。
可能是设备的某处传动滚轮不平造成。
堵片后的处理流程
当生产相关人员发现设备某处发生卡片、堵片现象后，立即通知上料人员停止投料。不要一碰见卡片、堵片就将设备上的急停按钮往下拍，同时通知设备、工艺的相关人员。
等其它道没有发生堵片、卡片道的正常硅片从设备里全部流出后，设备人员穿、戴好防护服后及时到达现场处理异常。
生产人员配合设备处理槽体内叠在一起的硅片，并及时将取出的硅片浸泡在水中。但要注意不要让水把片子给冲碎了。
设备人员查看报警信息，对故障进行处理让生产产线尽快恢复正常生产。
生产人员将冲洗干净的硅片，用相对应的花篮装起来隔离，等工艺技术员或工程师查看后是否可以正常下传，能正常下传的作为正常片处理，不能正常下传的作为返工片处理。
设备人员，根据发生的异常情况，排查是什么原因造成的堵片、卡片现象。
预防措施
生产操作人员尽量做到投片间距的一致性。不要在生产过程中出现投双片现象。
设备、工艺人员时刻关注一下，设备的运行状况。（如是否存在有滚轮不平整现象、设备的滚轮上是否有小碎片存在）