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标准《电子工厂洁净厂房设计规范》
1、电子工厂洁净厂房特点
表22 微振动控制设计
2、章节内容安排
附录A 各类电子产品生产对洁净度等级的要求
附录B 电子产品生产间/工序火灾危险性分类举例
附录C 一些精密设备、仪器仪表的允许振动值
附录D 洁净室（区）性能测试和认证
本规范用词说明
附：条文说明
2、章节内容安排
3、强制性条文等介绍
本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房设计。
电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求，并应根据具体情况为今后产品生产发展或生产工艺改进的需要预留条件。
电子工业洁净厂房设计除应执行本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
3．2．2 各种电子产品/有关工序的空气洁净度等级根据产品生产工艺要求确定；无要求时，可参照附录A要求确定。
洁净室（区）。
房间类别
温度（℃）
相对湿度（%）
冬季
夏季
冬季
夏季
生产工艺有要求的洁净室
按具体生产工艺要求确定
生产工艺无要求的洁净室
≤22
～24
30～50
40～70
人员净化及生活用室
～18
～28
-
-
单向流和混合流洁净室（区）的的噪声级（空态）不应大于65dB（A），非单向流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于60dB（A）。
洁净室(区)温度和相对湿度要求
3、强制性条文等介绍
电子工厂洁净厂房垂直单向流洁净室的空间应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。
洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定，各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时，宜采用微环境等型式。
洁净室（区）内应少分隔，但下列情况应设隔墙：
1 按火灾危险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间，或有防火分隔要求时；
2 在电子产品生产过程中，经常不同时使用的两个生产区段或房间之间；
3 生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染物的工序、设备，宜分隔设独立房间。
3、强制性条文等介绍
物料净化用室与洁净室（区）之间应设置气闸室或传递窗。
5．5．6 电子工厂洁净厂房内，设置真空泵时，应符合下列规定：
1．使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气排入排气系统。
2．对传输含有可燃气体的真空泵，若可燃气体浓度超过爆炸下限的20%时应设尾气处理装置，去除（稀释）可燃气体组份后才能排入排气系统。
3．传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫，吹扫控制阀与生产工艺设备操作系统联锁。
3、强制性条文等介绍
洁净厂房的耐火等级不应低于二级。
洁净厂房内防火分区的划分，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
丙类生产的电子工业洁净厂房的洁净室（区），%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，其每个防火分区的最大允许建筑面积可按生产工艺要求确定。
洁净室的上技术夹层、下技术夹层和洁净生产层，当按其构造特点和用途作为同一防火分区时，上、下技术夹层的面积可不计入防火分区的建筑面积，但应分别采取相应的消防措施。
3、强制性条文等介绍
微电子洁净厂房消防设施现状－－火灾报警系统：热感型、烟感型、早期烟雾探测器等
3、强制性条文等介绍
微电子洁净厂房消防设施现状－－火灾报警系统：热感型、烟感型、早期烟雾探测器等
3、强制性条文等介绍
（高灵敏度早期烟雾探测装置（VESDA，Very Early Smoke Detector Apparatus）或空气取样式烟雾探测系统（Air Sampling Type Smoke Detection System）
空气采样烟雾报警装置
3、强制性条文等介绍
3、强制性条文等介绍
VESDA与一般烟雾探测器的比较
3、强制性条文等介绍
在综合性厂房的一个防火分区内，洁净生产区域与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断设