文档介绍：第二节扫描电镜的构造和工作原理
电子光学系统
信号收集和图
象显示记录系统
真空系统
一、电子光学系统
电子枪
电磁透镜
扫描线圈
样品室
1. 电子枪 Electron Gun
• Filament
•Wehnelt Cap
• Anode
2. 电磁透镜 Electron Lenses
功能:把电子枪的束斑逐级聚焦缩小,使原来直径约为50 m束斑缩小成一个只有数纳米的细小斑点。
扫描电镜有三个聚光镜
两个强磁透镜
缩小电子束光斑
一个弱磁透镜(物镜)
具有较长的焦距
照射在样品上的电子束直径越小,
成像单元尺寸越小,分辨率越高。
3. 扫描线圈 Scanning coils
扫描线圈作用
使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动。
扫描方式
光栅扫描(相貌分析)
角光栅扫描(电子通道花样分析)
光栅扫描角光栅扫描
物镜
入射电子束
入射电子束
4. 样品室 Sample chamber
主要功能:
放置样品
安置信号探测器
辅助功能(附件):
加热和冷却试样
机械性能试验
二. 信号的收集和图象显示系统
二次电子、背散射电子和透射电子
进入闪烁体,引起电离
离子和自由电子复合形成可见光
光信号放大,转换电流信号,视频放大成为调质信号
三. 真空系统 Vacuum
保持光学系统
正常工作;
防止样品污染
真空度
10-2 ---
10-3PA