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半导体制造工艺—器件物理 教案

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第 1 章半导体特性1.1 半导体的晶格结构1.2 半导体的导电性1.3 半导体中的电子状态和能带1.4 半导体中的杂质...

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微电子制造概论-第4章-半导体设计和制造- 半导体制造工艺

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微电子制造概论 第二章半导体设计和制造4、半导体制造工艺内容沾污处理:ContaminationControl测试和检测技...

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半导体制程概论chapter5加热工艺

半导体制程概论chapter5加热工艺.ppt

1Chapter 5 加热制程王红江, Ph. D.fwang@just.2目标列出三种加热制程描述集成电路制造的热制程描述热氧化制...

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半导体制程概论chapter5加热工艺

半导体制程概论chapter5加热工艺.ppt

半导体制程概论chapter5加热工艺 LN*定义热制程是在高温操作的制造程序,其温度经常较铝的熔点高加热制程通...

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半导体制程概论chapter5加热工艺

半导体制程概论chapter5加热工艺.ppt

半导体制程概论chapter5加热工艺 LN*简介硅的优点高丰量, 价格廉价稳定且容易与氧化合早期的集成电路制造,...

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半导体制程概论chapter5加热工艺
半导体制程概论chapter5加热工艺

半导体制程概论chapter5加热工艺.ppt

半导体制程概论chapter5加热工艺目标·列出三种加热制程·描薤集成电路制造的热制程描热氧仁制程说明快速加...

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芯片制造半导体标准工艺教程
半导体制作工艺----掺杂

半导体制作工艺----掺杂.doc

芯片制造工艺扩散和掺杂离子注入主要内容5.1概述5.2扩散5.3离子注入掺杂5.4掺杂质量评价5.5实训扩散工艺规程...

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芯片制造-半导体工艺教程

芯片制造-半导体工艺教程.doc

芯片制造-半导体工艺教程Microchip Fabrication----A Practical Guide to Semicondutor Processing目录:第一...

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半导体制造技术导论chapter8离子注入工艺

半导体制造技术导论chapter8离子注入工艺.ppt

1Chapter 8 离子注入2目标至少列出三种最常使用的掺杂物辨认出至少三种掺杂区域描述离子注入的优点描述离子...

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工艺技术 半导体制造技术--离子注入工艺

工艺技术 半导体制造技术--离子注入工艺.ppt

Chapter8 离子注入1目标至少列出三种最常使用的掺杂物辨认出至少三种掺杂区域描述离子注入的优点描述离子注...

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芯片制造半导体工艺教程

芯片制造半导体工艺教程.doc

--------------------------校验:_____________--------------------------日期:_____________芯片制造半导...

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半导体制造技术导论chapter8离子注入工艺精编版

半导体制造技术导论chapter8离子注入工艺精编版.pptx

1Chapter82目标至少列出三种最常使用的掺杂物辨认出至少三种掺杂区域描述离子注入的优点描述离子注入机的主...

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芯片制造半导体工艺教程样稿

芯片制造半导体工艺教程样稿.doc

芯片制造-半导体工艺教程Microchip Fabrication----A Practical Guide to Semicondutor Processing目录:第一...

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半导体制造技术导论chapter_8离子注入工艺解析

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1 Chapter 8 离子注入 2目标?至少列出三种最常使用的掺杂物?辨认出至少三种掺杂区域?描述离子注入的优点?描...

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半导体制造技术导论chapter8离子注入工艺

半导体制造技术导论chapter8离子注入工艺.ppt

*Chapter8 离子注入*目标至少列出三种最常使用的掺杂物辨认出至少三种掺杂区域描述离子注入的优点描述离子注...

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半导体制造技术导论chapter 8离子注入工艺

半导体制造技术导论chapter 8离子注入工艺.ppt

Chapter 8离子注入目标至少列出三种最常使用的掺杂物辨认出至少三种掺杂区域描离子注入的优点描泷离子注入机...

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半导体制造技术导论chapter8离子注入工艺

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Chapter 81目标至少列出三种最常使用的掺杂物辨认出至少三种掺杂区域描述离子注入的优点描述离子注入机的主...

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半导体制造技术导论chapter8离子注入工艺

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半导体制造技术导论chapter8离子注入工艺*材料设计光罩IC生产厂房测试封装最终测试加热制程光刻离子注入与光...

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半导体制造技术--离子注入工艺课件

半导体制造技术--离子注入工艺课件.ppt

目标至少列出三种最常使用的掺杂物辨认出至少三种掺杂区域描述离子注入的优点描述离子注入机的主要部分解释...

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半导体-硅片生产工艺流程及工艺注意要点
第六讲:光刻工艺(半导体制造技术)

第六讲:光刻工艺(半导体制造技术).ppt

光刻光刻步骤光刻目的表面准备为确保光刻胶能和晶圆表面很好粘结,必须进行表面处理,包括三个阶段:微粒清除、...

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第六讲:光刻工艺(半导体制造技术)

第六讲:光刻工艺(半导体制造技术).ppt

光刻光刻步骤光刻目的表面准备为确保光刻胶能和晶圆表面很好粘结,必须进行表面处理,包括三个阶段:微粒清除、...

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芯片制造-半导体工艺教程

芯片制造-半导体工艺教程.doc

--------------------------校验:_____________-----------------------日期:_____________芯片制造-半导体...

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半导体工艺

半导体工艺.ppt

第1章硅材料与衬底制备2016 ·春2018年7月26日21-0 集成电路材料简介1-1 半导体硅材料简介半导体材料的分类...

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半导体制作工艺掺杂

半导体制作工艺掺杂.ppt

半导体制作工艺掺杂第一页,共120页。主 要 内 容5.1 概述5.2 扩散5.3 离子注入掺杂5.4 掺杂质量评价5....

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半导体制作工艺掺杂

半导体制作工艺掺杂.ppt

半导体制作工艺掺杂半导体制作工艺掺杂半导体制作工艺掺杂主 要 内 容5.1 概述5.2 扩散5.3 离子注入掺杂...

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半导体制作工艺掺杂

半导体制作工艺掺杂.ppt

半导体制作工艺掺杂主 要 内 容5.1 概述5.2 扩散5.3 离子注入掺杂5.4 掺杂质量评价5.5 实训 扩散工艺...

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芯片制造-半导体工艺教程.doc
半导体制作工艺----掺杂

半导体制作工艺----掺杂.ppt

芯片制造工艺掺杂扩散和离子注入主要内容5.1 概述5.2 扩散5.3 离子注入掺杂5.4 掺杂质量评价5.5 实训扩散工...

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价值过万的半导体工艺流程(讲课用)

价值过万的半导体工艺流程(讲课用).ppt

半导体工艺制程wu.jiaming@TEL: 62373非常高兴和大家一起分享半导体的快乐登陆行业网站:中国信息产业部中国...

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半导体制作工艺掺杂

半导体制作工艺掺杂.ppt

芯片制造工艺掺杂扩散和离子注入主要内容5.1概述●52扩散●53离子注入掺杂54掺杂质量评价5.5实训扩散工艺规...

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半导体工艺流程讲课用共117页

半导体工艺流程讲课用共117页.ppt

21、没有人陪你走一辈子,所以你要适应孤独,没有人会帮你一辈子,所以你要奋斗一生。22、当眼泪流尽的时候...

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半导体工艺制造技术,维纳尺度工程第十三章+封装

半导体工艺制造技术,维纳尺度工程第十三章+封装.pdf

半导体工艺与制造技术Semiconductor Process and ManufacturingTechnology韩郑生zshan@ime.1内容1 半导体制...

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2021年芯片制造半导体基础工艺教程

2021年芯片制造半导体基础工艺教程.doc

芯片制造-半导体工艺教程Microchip Fabrication----A Practical Guide to Semicondutor Processing目录:第一...

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半导体工艺流程讲课用

半导体工艺流程讲课用.ppt

半导体相关知识二。半导体前工序介绍三.半导体后工序介绍1.半导体相关知识1.集成时代的开始从晶体管的发明到...

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半导体制造工艺 张渊 第9章 掺 杂新

半导体制造工艺 张渊 第9章 掺 杂新.ppt

半导体制造工艺2018/5/301第9章掺杂2018/5/302第9章掺杂9.1 概述 9.2 扩散 9.3 离子注入 9.4 离子注入机 9....

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半导体制造工艺张渊第9章节掺杂

半导体制造工艺张渊第9章节掺杂.ppt

半导体制造工艺2019/9/21第9章掺杂2019/9/22第9章掺杂9.1 概述 9.2 扩散 9.3 离子注入 9.4 离子注入机 9.5 ...

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半导体工艺流程讲课用

半导体工艺流程讲课用.ppt

半导体工艺流程讲课用1.半导体相关知识1.集成时代的开始从晶体管的发明到大规模集成电路的广泛使用经过了六...

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半导体工艺之光刻+刻蚀原理和流程

半导体工艺之光刻+刻蚀原理和流程.ppt

半导体工艺之光刻刻蚀原理和流程物理气相淀积镀膜化学气相淀积氧化半导体制作工艺扩散掺杂掺杂离子注入掺杂...

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芯片制造-半导体工艺教程

芯片制造-半导体工艺教程.docx

芯片制造-半导体工艺教程MicrochipFabrication----APracticalGuidetoSemicondutorProcessing目录:第一章:半...

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半导体制造标准工艺标准流程
芯片制造-半导体工艺教程

芯片制造-半导体工艺教程.doc

芯片制造-半导体工艺教程MicrochipFabrication????????----APracticalGuidetoSemicondutorProcessing??????...

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MEMS制造技术半导体工艺

MEMS制造技术半导体工艺.pptx

主要内容掺杂技术、退火技术表面薄膜制造技术光刻技术金属化技术刻蚀技术净化与清洗接触与互连键合、装配和...

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半导体-硅片生产工艺流程及工艺注意要点

半导体-硅片生产工艺流程及工艺注意要点.doc

半导体-硅片生产工艺流程及工艺注意要点硅片生产工艺流程及注意要点简介硅片的准备过程从硅单晶棒开始,到清...

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半导体工艺流程简介PPT文档共99页

半导体工艺流程简介PPT文档共99页.ppt

36、“不可能”这个字(法语是一个字),只在愚人的字典中找得到。--拿破仑。37、不要生气要争气,不要看破要...

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半导体制造工艺流程 99页文档

半导体制造工艺流程 99页文档.ppt

21、没有人陪你走一辈子,所以你要适应孤独,没有人会帮你一辈子,所以你要奋斗一生。22、当眼泪流尽的时候...

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半导体制造工艺流程分析PPT99页

半导体制造工艺流程分析PPT99页.ppt

半导体制造工艺流程分析41、实际上,我们想要的不是针对犯罪的法律,而是针对疯狂的法律。——马克·吐温42...

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半导体制造工艺流程 大全共99页文档
半导体制造工艺流程-大全PPT文档共99页
半导体制造工艺流程99页PPT
半导体制造工艺流程36207ppt课件PPT文档共99页
半导体制造的工艺流程共98页PPT

半导体制造的工艺流程共98页PPT.ppt

半导体制造的工艺流程26、我们像鹰一样,生来就是自由的,但是为了生存,我们不得不为自己编织一个笼子,然...

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半导体制造工艺PPT资料好PPT文档98页
半导体制造工艺课件(powerpoint 98页)
半导体制造工艺流程.PPT

半导体制造工艺流程.PPT.ppt

半导体制造工艺流程半导体相关知识本征材料:纯硅 9-10个9250000Ω.cmN型硅: 掺入V族元素--磷P、砷As、锑SbP...

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半导体元件的制造工艺流程

半导体元件的制造工艺流程.pdf

国际建材城可行性分析报告李萧萧的个人主页aoxiao151目录第一章项目概况一、项目名称二、项目承办单位三、湖...

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半导体制造工艺流程 大全

半导体制造工艺流程 大全.ppt

2013新规电子化科目二扣分标准注意事项项目:综合评判1、未系安全带:扣100分2、未关好车门:扣100分3、未开转...

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半导体制造流程

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唐山市路北区韩城镇2018年部门预算有关事项说明主要职责贯彻执行党和政府有关农业和农村工作的路线、方针、...

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半导体制造工艺流程

半导体制造工艺流程.ppt

Trends in IC packaging匹枪疙速邓靶他弯搐攒庙逛浓喜投听酵围公算霓吨羞仟剑肿训虹畜同跋阴半导体制造工艺...

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半导体制造工艺课件课件

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微电子学:Microelectronics微电子学——微型电子学核心——半导体器件2020/12/231半导体制造工艺课件专业版...

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芯片制造-半导体实用工艺教程
半导体制作工艺流程详解
半导体制造流程

半导体制造流程.ppt

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半导体制造工艺

半导体制造工艺.ppt

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很完整半导体制造工艺流程
半导体工艺流程简介

半导体工艺流程简介.ppt

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半导体器件制造工艺流程

半导体器件制造工艺流程.ppt

考纲要求考情分析1.锋面系统的特点及对天气的影响。2.低压、高压的特点及对天气的影响。考点回顾1.锋面与天...

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第三章 MEMS制造技术-1(半导体工艺)

第三章 MEMS制造技术-1(半导体工艺).ppt

第三章 MEMS制造技术 ——半导体制造技术主要内容掺杂技术、退火技术表面薄膜制造技术光刻技术金属化技术刻...

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2020年MEMS制造技术-1(半导体工艺)

2020年MEMS制造技术-1(半导体工艺).ppt

主要内容掺杂技术、退火技术表面薄膜制造技术光刻技术金属化技术刻蚀技术净化与清洗接触与互连键合、装配和...

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芯片制造 半导体工艺设计教程
半导体制造技术-半导体天地

半导体制造技术-半导体天地.doc

半导体制造技术-半导体天地半导体论坛 1.扩散工艺的性能指标有哪些啊主要是方块电阻和结深,这两个指标达到了...

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半导体制程技术导论Chapter 7等离子体工艺

半导体制程技术导论Chapter 7等离子体工艺.ppt

1Chapter 7 等离子体的基础原理2目标列出至少三种使用等离子体的IC制程列出等离子体中重要的三种碰撞描述平...

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半导体制程技术导论chapter 7等离子体工艺

半导体制程技术导论chapter 7等离子体工艺.ppt

*Chapter7 等离子体的基础原理*目标列出至少三种使用等离子体的IC制程列出等离子体中重要的三种碰撞描述平均...

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半导体制程技术导论Chapter 7等离子体工艺

半导体制程技术导论Chapter 7等离子体工艺.ppt

Chapter 7等离子体的基础原理目标·列出至少三种使用等离子体的IC制程列出等离子体中重要的三种碰撞描迹平均...

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半导体制程技术导论Chapter 7等离子体工艺

半导体制程技术导论Chapter 7等离子体工艺.ppt

半导体制程技术导论Chapter_7等离子体工艺*等离子体制程的应用化学气相沉积蚀刻物理气相沉积离子注入光刻胶...

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LCD制造工艺流程课件

LCD制造工艺流程课件.pptx

本教材(jiàocái)共2小时LCD工程部2006年7月25日LCD制造(zhìzào)工艺流程(技术类)编写(biānxiě):罗永波...

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半导体工艺流程总文档110

半导体工艺流程总文档110.doc

从20世纪后半叶开始电子技术的发展速度是令人膛目结舌的,许多传统由机械技术支持的产品逐步改由电子技术来支...

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半导体工艺流程 总文档(1-10)

半导体工艺流程 总文档(1-10).doc

第一章概述从 20世纪后半叶开始电子技术的发展速度是令人膛目结舌的,许多传统由机械技术支持的产品逐步改由...

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半导体制造工艺流程简介
芯片制造半导体标准工艺教程
微电子制造工艺流程

微电子制造工艺流程.ppt

电子工业专用设备主讲教师:刘世元教授吴懿平教授办公电话:87548116移动电话:13986163191电子邮件:shyliu@ma...

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半导体制造工艺流程参考
芯片制造-半导体工艺教程

芯片制造-半导体工艺教程.doc

芯片制造-半导体工艺教程芯片制造-半导体工艺教程MicrochipFabrication????????----APracticalGuidetoSemic...

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最新芯片制造-半导体工艺教程
最新芯片制造-半导体工艺教程
芯片制造-半导体工艺教程

芯片制造-半导体工艺教程.doc

芯片制造-半导体工艺教程1芯片制造-半导体工艺教程MicrochipFabrication----APracticalGuidetoSemicondutor...

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芯片制造-半导体工艺教程

芯片制造-半导体工艺教程.doc

#1 ?第一章半导体工业--1芯片制造-半导体工艺教程芯片制造-半导体工艺教程1芯片制造-半导体工艺教程Microch...

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芯片制造-半导体工艺教程

芯片制造-半导体工艺教程.doc

#1?第一章半导体工业--1芯片制造-半导体工艺教程点击查看章节目录byr53858概述本章通过历史简介,在世界经济...

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微纳制造工艺半导体材料与制备PPT78页
第四章 微纳制造工艺2半导体材料与制备

第四章 微纳制造工艺2半导体材料与制备.ppt

第四章微纳制造工艺 ——半导体材料与制备1 结合键原子间的结合力称为结合键,它主要表现为原子间吸引力与排...

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第四章 微纳制造工艺2半导体材料与制备

第四章 微纳制造工艺2半导体材料与制备.ppt

第四章微纳制造工艺 ——半导体材料与制备1结合键原子间的结合力称为结合键,它主要表现为原子间吸引力与排斥...

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第四章 微纳制造工艺2半导体材料与制备

第四章 微纳制造工艺2半导体材料与制备.ppt

第四章微纳制造工艺 ——半导体材料与制备映蠕佬憨俭匹炮鞭浪牵鄂橙又往不旧也章调特妹蚁援桓晋胞必服创扬卫...

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微纳制造工艺2半导体材料与制备

微纳制造工艺2半导体材料与制备.ppt

第四章 微纳制造工艺 ——半导体材料与制备1可编辑版1 结合键原子间的结合力称为结合键,它主要表现为原...

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第四章 微纳制造工艺2半导体材料与制备
半导体制造工艺第10章平坦化

半导体制造工艺第10章平坦化.doc

半导体制造工艺6?1械工业出興社TXT CHIUG机械工业出版社TLT CHINA MACHINE PRESSG机械工业出版社TLT CHINA ...

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半导体制造技术

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半导体制造技术气相成底膜到软烘3学习目标:1、光刻基本概念,包括工艺描述、CD划分、光谱、分辨率、工艺宽...

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微纳制造工艺半导体材料与制备

微纳制造工艺半导体材料与制备.ppt

第四章 微纳制造工艺 ——半导体材料与制备微纳制造工艺半导体材料与制备1 结合键原子间的结合力称为结...

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cmos制造工艺及流程good

cmos制造工艺及流程good.ppt

CMOS制造工艺及流程Good第一页,共75页。Part 1:0.6um process flow introduce一,衬底材料的准备二,阱的形...

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