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ZnO何英张栋王长征引言光学报ZnOZnoZnO薄膜方面的报道,研究重点主要是光致发光现象及~3]Zn()发光光谱一般包括两部分:近紫外光谱和可见光发光带。近紫外发光主要依赖于薄膜晶体生长质量,[4]尺寸⒒浔萚等相关,也有人认为和晶体的择优长向有关【。可见光光带主要来源于薄膜内部的缺陷,主要包括氧空位、锌空位、锌填隙、氧填隙和氧错位等。(100)第卷第期文章编号:———某谴笱锢砜蒲в胄畔⒐こ萄г海蕉某Si(100)ZnO200300400妗S肵射线衍射仪、拉曼光谱、扫描电子显微镜对薄膜的微结构进行了测量,并测量了室温下薄膜的光致发光特性。结果表明,媸保甖具有最佳择优取向,,薄膜晶粒尺寸增400应力表现为张应力。媸庇αψ钚 W贤夥⒐夥逶诔牡孜露任℃时最强。而黄绿光带最弱。在减少薄膜缺rZnO文献标识码(10847143)(J08L113)(X071048)作者简介:张栋,男,硕士,讲师,主要从事磁光材料方面的研究。::——:收到修改稿日期:一—助课题。V0129No10October2009琇UniversityLiaochengShandong,
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重爱实验3底上成功地制备出了高嵩裼湃∠虻腪薄膜。研究了薄膜的微观结构、晶粒尺度、应力状态随着衬底温度的变化规律,并深入研究了薄膜的结构和发光特性。LambdaKrF248,脉宽为,脉冲重复频率5Hz200。在蚐上沉ZnO1h440,纯度为.%的4。真空系统的背景真510_7,加热衬底温度为室温,2003004005001的高纯(99999)451hZnOBrukerD8AdvanceX(Cu辐射波长rim)JSM6380IV电子显微镜饬俊J褂肊InstrumentsFls920(PL)325作为激发光源。使用英国雷尼绍公司生产的拉曼光谱仪进行拉曼光谱测试氩离子激光光源,波长湎哐苌l(a)XRD(100)(002)媸贝锏阶钋浚衍射峰消失。随着衬(002)有的薄膜都具有高度嵩裼湃∠颍露任℃c椎木阜治觯⑾殖牡孜露鹊谋浠贾耑薄膜难苌浞宸⑸宋灰疲得鞅∧さ膄轴晶格常数发生了变化,而晶格常数的变化在一定程度上反映了薄膜的应力状况。薄膜晶格常数与应力的=o)co(GPa)Is].分别为∧ず屯暾錭轴的点阵常数。可以得到随着衬底温度的变化,薄膜的应力表现为张应力,分别为可见,随着衬底温度的升高,薄膜的张应力逐渐减小,4001(b)Sherrer算的晶粒尺寸随衬底温度的变化关系。可以看出,随(002)(FWHM)033023r墨由于在木逯校面具有最低的表C取向。有报道认为随着温度的升高,吸附核的表面Cb]底温度持续升高时,晶体有足够的表面能量生成高cKajikawaEl01f其具体生长机理还不明确。同时,衬底温度的升高使得薄膜内的原子有足够的能量通过迁移和扩散来释放应力,当温度足够高时,在薄膜中容易形成氧空位,而氧空位则是导致应力的重要因素,因此随着衬底温度的升高,薄膜张应力逐渐被释放,当温度400期栋等:ZnO的激光蚦.#。