文档介绍：独创性声明秉承祖国优良道德传统和学校的严谨学风郑重申明: 本人所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的成果。尽我所知, 除特别加以标注和致谢的地方外, 论文中不包含其他人的研究成果。一与我一同工作的同志对本文所研究的工作和成果的任何贡献均已在论文中作了一明确的说明并已致谢。- 本论文及其相关资料若有不实之处, 由本人承担一切相关责任一论文作者签冬连虹鼓; 为。产钾那学位论文使用授权声明本人」通道二在导师的指导下创作完衅业论无本人已通过论文的答抓并已经在西安理工大学申请博士/ 硕士学位。本人作为学位论文著作权拥有者, 同意授权西安理工大学拥有学位论文的部分使用权, 即: 1 ) _ 已获学位的研究生按学校规定提交印刷版和电子版学位论文, 学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存研究生上交的学位论文, 可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索; 2) 为教学和科研目的, 学校可以将公开的学位论文或解密后的学位论文作为资料在图书馆、资料室等场所或在校园网上供校内师生阅读、浏览。本人学位论文全部或部分内容的公布( 包括刊登) 授权西安理工大学研究生部办理。( 保密的学位论文在解密后, 适用本授权说明) 论~ 签冬三互复~ 名: { 冬葬、年, 月、摘要论文题目: 单晶炉晶体提拉系统平衡研究学科专业: 机械电子工程研究生: 李晓茸指导教师: 原大宁副教授摘要提拉法单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列之一, 用此方法单晶生长速度最高, 晶体尺寸最大, 晶体质量最好, 最易实现自动控制, 因此获得了最广泛的应用。而此方法生产高质量单晶的主要因素取决于单晶提拉过程的平稳性, 因此提拉系统良好的平稳性是提高单晶炉设备性能和生产效率的关键。以良好的平稳性为目标, 本文对单晶炉提拉系统进行了系统平衡方面的研究。本文首先介绍了单晶炉提拉系统的功能、结构特点以及工作原理; 讨论了单晶炉提拉系统静平衡与动平衡的原理和方法, 分析、研究了提拉系统完全平衡的条件, 以及提拉系统不平衡校正的方法。结合单晶炉提拉系统实际结构, 进行了系统 UG 三维实体建模、动平衡数学建模、计算以及提拉系统动平衡仿真配平工作。系统动平衡分析、计算的结果证明, 提拉系统配平效果即动平衡效果是比较好的。随后, 针对某型号单晶炉提拉系统的实际结构, 进行了提拉系统理论静不平衡量的大小、相位计算, 三维软件 UG 建模计算和该设备“以动测静”法的平衡实验; 完成了相关理论与实验数据的对比分析, 根据分析结果, 针对提拉系统加称重机构后质心较高, 质量和体积较大, 影响系统运转平稳性的缺点, 提出了结构改进的方案并完成了改进设计以及相应构件的刚度、强度校核。结果证明这些改进措施使得改进后的系统在总质量、总体积、总质心以及平衡性等方面较原系统结构有很大改善, 使提拉系统运转更加平稳、可靠。关键词: 单晶炉提拉系统; 静、动平衡; 结构改进 A b s tr a C t T i t ! e : R E S E A R C H O N T H E B A L A N C E O F P U L L I N G S Y S T E M O F 5 I N G L E · C R Y S T A L F U R N A C E M aj o r : M e c h a n i c a l a n d E ! e c t r o n i c E n g i n e e r i n g N a m e : X i a o r o n g L l S u P e rv i s o r : AS s o c i a t e P ro t D a n i n g Y U A N S i g n a t u 坦 S i g n a t u 坦 A b s t r a C t S i n g l e 一 e rys t al fu m ac e b y e z o e hr al s ki m e th o d 1 5 o n e o f th e m o s t i mP o rt ant e q u iP m en t . B y thi s m eth o d , hi gh sP e e d o f e rys t a l gro w t h , e ry s t al s o f b i g s i z e , hi gh q u a l i ty e rys t a l s an d a u t o e o n t r o l e an b e o b t ai n e d , fo r w hi e h i t h as b e e n w i d e l y aP P l i e d . T h e s t at i o n a ry o f th e P u l