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微结构材料力学遥微拉伸系统与测试方法研究.pdf

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嗍卅T露嗳挣学位论文作糍:雹辑吵朐谝陨戏娇蚰诖颉指导教师签名:◆■●
多删礅参刊粼易、.嘶琴’籽翮翩籼董抽辏珼月/罗日你輘上海交通大学/每≯答辩结论:、嘶过上海交通大学/■上海交通大学博士学位论文答辩决议书刘瑞微电子学与固体电子学丁桂甫上海交大微纳米学院嵋槭微结构材料力学性能的微拉伸系统与测试方法研究鲍敏杭教授复旦大学孙卓华东师范大学蔡炳初上海交通大学赵小林杨春生郭守武王艳讲师F结构用材料因尺寸微小,受制备工艺影响等原因,不适用采用宏观材料的力学性能测试方法。该论文研究用结构材料力学性能微拉伸测试方法,对于器件及系统结构的可靠、正确设计具有十分重要的价值。论文通过进行单轴微拉伸系统的设计与仿真、微拉伸试样与力学传感器仿真制备:微拉伸系统装配与集成,局部系统用材料力学性能测试以及集成化测量系统误差分析的作。完成了微拉伸测试系统和测试样品的研制,并进行了相应的测量,取得了如下创新成岢隽艘恢衷还鄄馕⒊叨冉峁共牧狭ρ阅懿馐缘男滦臀⒗旆椒ǎ杓屏似湮灰坪载荷测量系统。利用此单轴微拉伸系统,不仅可以测量微尺度薄膜试样的力学特性,而且还能够在测量过程中观测薄膜试样的破坏过程,进行破坏机理分析。艺,提出了两端固定式的微拉伸试样设计,,并且具有工艺可靠、适用范围广等特点。杓瞥鲆哉婵瘴胶投ㄎ幌嘟岷系姆绞嚼垂潭ḿ墒轿⒗焓匝唤瞿芏允匝精确定位,而且操作简单,并可以多次重复使用。论文立论正确,设计、仿真合理,实验数据可信,论文工作量饱满。表明作者在此领域具有扎实的理论基础和宽广的专业知识。论文书写规范,文字通顺,其学术水平达到了博士学位论文的要求。答辩时陈述清晰,回答问题正确。经答辩委员会讨论,一致同意通过博士论文答辩,并建议授予工学博士学位。单位委员委所在姓名学号学科指导教师答辩日期地点论文题目/投票表决结果:馄笔档轿笔Φ轿笔口未通过评语和决议:果:赨甃职务姓名职称签名主席答辩员厶成签秘书~石.、●‘

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