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嘞指剥嗽:名石墨Ⅱ学位论文作者签名:雾其日驯年黄鳨学位论文版权使用授权书江苏大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆、中国学术期刊馀贪电子杂志社有权保留本人所送交学位论文的复印件和电子文档,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致,允许论文被查阅和借阅,同时授权中国科学技术信息研究所将本论文编入《中国学位论文全文数据库》并向社会提供查询,授权中国学术期刊馀贪电子杂志社将本论文编入《中国优秀博硕士学位论文全文数据库》并向社会提供查询。论文的公布ǹ授权江苏大学研究生处办理。本学位论文属于不保密
飞秒激光对金属和半导体薄膜的烧蚀与微加工研究年
摘要学强度和激光损伤阈值。最后揭示了激光与材料作用的两种机制一电离机关键词:飞秒激光、微加工、薄膜、烧蚀阈值江苏大学硕士学位论文飞砂激光微加工具有热影响区小和加工精度高的特点,在激光微加工领域具有潜在的应用价值。本论文采用飞秒激光微加工系统,开展了飞秒激光烧蚀与微加工金砗桶氲继灞∧さ氖笛檠芯俊H牡闹饕Q芯磕谌萦虢崧廴缦拢芙崃朔擅爰す馍帐唇鹗舨牧系囊话阄锢砉逃胛锢砘疲幌低车靥致了目前研究飞秒激光烧蚀金属材料常用的双温模型与分子动力学模拟方法。介绍了飞秒激光与半导体材料光学损伤的过程和机制,并概括说明了半导体材料的光制和烧蚀机制的概念。:开展了飞秒激光对膜烧蚀和微加工过程的实验研究。进行了不同脉冲能量和不同脉冲个数下烧蚀点形貌特征的研究。采用扫描电镜鄄馄浔砻嫔蚀形貌,发现烧蚀点大致分为三个区域,烧蚀面积随着脉冲能量和脉冲个数的增大而增大,但当脉冲数达到一定值后烧蚀面积变化不大。改变脉冲数在烧蚀点得到了周期为某ざ讨芷谔跷平峁埂8萆帐辞蛎婊肼龀迥芰的关系算出单脉冲与多脉冲的烧蚀阈值,膜的单脉冲烧蚀阈值为痗。通过烧蚀点的累计能量和激光脉冲个数计算出膜的多脉冲累计因子。接下来研究了脉冲能量和扫描速度参数对划线质量的影响。实验表明线宽随着脉冲能量的增加基本呈线性增加趋势,一开始随着扫描速度增大而减少的很快,等达到一定数值以后开始趋于平缓。为了获得高质量的划线加工,通常根据需要选取合适的飞秒激光参数。U沽朔擅爰す舛訧薄膜烧蚀和微加工过程的实验研究。研究了不同参数下磁控溅射制备出的∧さ墓獾缧阅埽∪∽钣挪问票赋厚的∧ぁ2⒃诹街植煌氖悼拙断路治隽薎的单脉冲烧蚀阈值,计算求出阈值分别为/.痚H缓蠼辛寺龀迥芰亢吐龀甯鍪曰咝蚊灿特征参数影响的研究。采用原子力显微镜斜碚鳎治隽松帐瓷疃群涂度的变化,并使用扫描电镜观测其表面形貌,烧蚀区域从一些连续的激光光斑变成一条直线。要得到良好的烧蚀沟槽的形状,则采用甭龀甯鍪枰4笥。
飞秒激光对金属和半导体薄膜的烧蚀与微加工研究
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