文档介绍：材 料 年第期卷
．．薄膜 微 观 结构 的 表 征
王 明光 ，祁 阳
东 北大 学 理学 院 ，辽 宁 沈 阳
摘 要 ： 利 用透 射 电子 显微 镜 研 究 了衬底 温度 理 性 能 。脉 冲激光 沉积 是 近 年来 发 展 起来
～ ℃ 条 件 下 采 用 脉 冲 激 光 法 在 。 的使用 范 围较 广 且 最有 希 望 的 制膜 技 术 之一 ，具 有很
衬底 上制备 的 ．．。薄膜 的 多优点 如薄膜 化学计 量 比稳定 ，成膜速 度 快 ，可实 现微
微 观 结 构 。 结 果 表 明 薄 膜 由 大 量 柱 状 晶 组 成 且 与 区沉积 ，易在 较低 温 度 下 原位 生 长外 延 单 晶膜及 制膜
衬 底 形 成 良好 外 延 关 系。 薄 膜 与 种 类 多等等 。制 备 的 薄 膜 质量 与 沉 积过
衬底 的取 向 关 系可 以描 述 为 ：∥ 。、 程 中的 多 种 参 数 有 关 ，如 衬 底 温 度 、靶 材 与衬 底 的距
∥ ；∥ 、∥ 离 、氧压 与退 火温度 都会 影响薄 膜 的生长方 式 。
。。 显 示层 状 畴 结构 ，即在 衬 底 上初 始 生 本 文利用 法 ～ ℃下 在 衬 底 上
长的薄膜为型畴 ，在此之上生长的薄膜为类 制备 了 薄膜 ，利用高 分辨 电子显 微镜
和 类型畴 的混 合体 。薄膜 中可观 察到 一 些反 向畴 研 究 了 薄膜 的生长模 式及 其缺 陷结构 。
与孪 晶等缺 陷 。薄膜 与衬 底界 面 少见错 配 位错 ，薄膜
实验 材 料 和 实验 方 法
以 —模