文档介绍：GT 多晶炉维护手册 Zhenjiang Huantai Silicon Science&Technology co.,Ltd GT 多晶炉维护手册 GT Solar Technologies Direction Solidification System (DSS) Zhenjiang Huantai Silicon Science&Technology co.,Ltd 前言这本手册有保养,维修 GT DSS 多晶炉的重要资料。这些资料对于有效率的使用和保养多晶炉很重要, 因此使用前一定要熟读并且了解来预防问题的发生。手册内容: 前言:安全考量第一单元:预防性保养 z 预防性保养日程安排规阵 z 预防性保养程序第二单元:维修 z 更换热电偶和保护层 z 安装/ 拆除 DS块 z 安装炉闸 z 调整低炉和隔热笼的高度 z 安装/ 拆除加热器 z 安装/ 拆除隔热层 z 安装/ 拆除电极管 z 清洗氦气阀 z 清洗水流探测器第三单元:故障指导 z 解决警铃声响 z 解决设备故障 z 解决操作问题 Zhenjiang Huantai Silicon Science&Technology co.,Ltd 安全考量安全标志: 以下安全标志将会出现在本手册, 来提醒使用者注意特殊情况或告知有可能的危险。请确保维修人员,安装人员熟悉这些标志。危险---- 出现此标志代表所讲述的情况很危险,如果不避免的话可能会导致死亡或严重伤亡。只有合格的人员才能处理此类型状况。警告---- 出现此标志代表所讲述的情况有危险, 会造成重伤。只有在完全了解了警告的讯息,才能开始进行。小心---- 出现此标志代表所讲述的情况可能会导致零件故障, 中度受伤或资料遗失。注意---- 出现此标志代表提供重要的相关资料,提醒或建议。安全措施: 所有操作人员一定要遵守手册里的安全规范。 z 在处理石墨块时一定要戴耐高温手套。 z 在硅碇出炉时,硅碇温度大于 400 ℃,绝对不能触碰。 z 硅碇在出炉时会快速冷却, 这会导致坩埚裂开。操作时请戴工用眼镜。 z 设备多处有高压电,高热度部位,请注意设备上的安全标示。 z 当接近有高压电处,请确保你有只手放在口袋里。 z 操作时请穿橡胶底的鞋子。 z 操作时一定要小心,不要自以为是。 z 机器不使用时真空泵一定需关上。 Zhenjiang Huantai Silicon Science&Technology co.,Ltd 第一单元:预防性保养 z 参考用( 预防性保养日程表) z 真空测量器校准大量程的真空测量器精密的真空测量器 z 真空泵系统维修更换油–机械泵更换油–罗茨泵检查轴带检查在支持泵上的电磁继电器 z 底炉下降系统螺旋启动器软轴闸门离合器 z 水电缆 z 控制平台 SlimPaks z SlimPak AC 测量 z SlimPak DC 测量 z 气体流量控制器 z 检查比率阀清洗比率阀 z 检查热区 Zhenjiang Huantai Silicon Science&Technology co.,Ltd 参考用( 预防性保养日程表) 建议依照以下时间表定期执行预防性保养: 维修项目执行时间真空测量器校准每 3 个月一次真空泵系统维修请参照供应商所提供的资料检查油量一星期一次更换油–机械泵每 6 个月一次更换油–罗茨泵每 6 个月一次检查轴带每 6 个月一次检查在支持泵上的电磁继电器一个月一次检查底炉下降系统: 螺旋启动器软轴每3 个月一次一个月一次闸门一个月一次离合器一个月一次水电缆每 6 个月一次检查控制平台与其附属设备一个月一次电源供应系统校准每 3 个月一次检查 SlimPak 每6 个月一次检查与校准气体流量控制器一个月一次检查比率阀一个月一次清洗比率阀每 3 个月一次检查热区一个月一次 Zhenjiang Huantai Silicon Science&Technology co.,Ltd z 真空测量器校准–每3 个月一次校准真空测量器通常只是调整较零器和检查在大气层的压力值。更完整的校准需要专业的仪器与工具,因此须由厂家或专业人士来处理。注意–在做任何调整前测量器需要至少运作 30 分钟 z 大量程的真空测量器为了调整大量程的真空测量器的零点,炉里的压力需要低于 mbar 。所以开启真空阀( V1 )然后抽真空,直到大量程真空测量器显示低于 mbar 。在控制平台点选 Manual Screen ,然后点选 Maint Screen ,输入正确的密码后,维护选项画面就会出现。真空测量器的数据就显示在 Analog Inputs 框里。在做任何调整前测量器需要至少运作 30 分钟。 1. 如果荧幕上 Pressure Gauge, Coarse 并没显示 0 ,调整较零器直到数据显