文档介绍：------------------------------------------------------------------------------------------------ ——————————————————————————————————————第十九讲真空溅射镀膜张以忱第 53 卷第 3期 2016 年5月真空 VACUUM , !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!" !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!" !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!" 真空技术及应用系列讲座博士导师杨乃恒先生主持东北大学真空工程博士点, 第一讲:真空科学的发展及其应用!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 李云奇第二讲:真空物理基础!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 张世伟 95(2)95(3) (4 )、(5 )、(6 ) 、96(1 )、(2 )、(3)第三讲:机械真空泵(一)(二)(三)(四)(五)(六) !!!! 张以忱95第四讲: 蒸汽流真空泵!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 姚民生96 (4) 第五讲: 气体捕集式真空泵!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 徐成海96(5)第六讲:真空测量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 刘玉岱第七讲: 真空检漏!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 关奎之第八讲:真空系统设计!!!!!!!!!!!!!!! 王继常第九讲:真空系统组成元件!!!!!!!!!!! 王继常第十讲:真空密封!!!!!!!!!!!!!!! 王继常第十一讲:真空材料!!!!!!!!!! 张以忱第十三讲: 真空系统的检测技术!! 张以忱第十四讲:真空工程用焊接技术!! 张以忱------------------------------------------------------------------------------------------------ —————————————————————————————————————— 96(6 ) 、97(1 )、(2 )、(3 )、(4)97(5 )、(6 )、 98(1 )、(2 )、(3) 98(4 )、(5 )、(6 ) 、99(1 )、(2 )、(3) 99(4 )、(5 )、(6 ) 、00(1 )、(2 )、(3 )、(4)00 (5 )、(6 ) 、01(1 )、(2 )、(3 )、(4 )、(5) 03(2 )、(3 )、(4 )、(5 )、(6) 01 (6)、 02 (1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、 03 (1) 第十二讲:真空工艺!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 张以忱 04 (1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、 05 (1)、(2)、(3 )、(4) 05 (5)、(6)、 06 (1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、 07(1 )、(2) 07(3 )、(4 )、(5 )、(6) 第十五讲:真空工程封接技术!!!!!!!!!!!!!!!!!! 张以忱(1 )、(2)、(3)、(4)、