文档介绍：ESD Control 静电控制(工厂实践篇)
工厂实践篇
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ESD Control
(一)Wrist strap 及monitor 的使用、维护
Fuji 494 –双线腕带监测器
Fuji 99 –单线腕带监测器
双线腕带
设施部定期(一般至少三个月一次)对监测器进行PM。更换易损件,校准监测器,确保正常工作。
QA对监测器插孔定期(一般为一个月一次)进行接地测试,确保接地良好。
生产部在使用过程中出现任何问题及时通知到设施部进行修理。经确认是腕带损坏的及时由主管或领班更换腕带。
QA对使用及执行情况进行核查。
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(二)电烙铁的接地–确保烙铁焊头接地良好
Fuji 300 –防静电电烙铁
有防静电标志
不管是防静电电烙铁还是普通电烙铁,必须定期
测试烙铁焊头对地电阻(R)。
标准:R < 100 ohms (普通电子企业)
烙铁焊头
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(三)显微镜的接地
仅对夹具进行接地,没有固定到显微镜底座上,显微镜机体接地不良。
由于显微镜机体和底座被油漆覆盖,所以应另接接地线接地,确保接地良好。
显微镜标准:对地电阻< 1x10e9 ohms
接地线松脱
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(四)工作台工具/ 设备的接地
接地良好
接地良好
所有用于生产或检验的工作台面。接地标准:对地电阻< 10 ohms
接地线松脱
移动的部分增加接地,确保接地良好
接地线松脱
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注意:类似以上两种放置在工作台上的工具/ 设备,
由于它们的底脚是绝缘的塑料,必须确认它
们的接地电阻(有些可以通过电源线地线接
地)如果接地不良,必须另外接地线。
标准:对地电阻< 10 ohms
底脚是绝缘的塑料
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类似图示的可移动设备(还包括 Oven 等),它们的底脚轮子是绝缘的塑料,必须确认它们的外壳,工作台和与产品接触的夹具的接地电阻(有些可以通过电源线地线接地)如果接地不良,必须另外接地线。
标准:外壳,工作台和与产品接触的固定的金属夹具
< 10 ohms
与产品接触的活动的夹具,ESD材料
< 1 x 10 E 9 ohms
夹具
台面
外壳
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确保外壳,与产品接触的流水线和夹具的接地良好。(外壳测试点是外壳上暴露的螺丝)
标准:外壳、流水线线体< 10 ohms
流水线线体
夹具
外壳
流水线线体
外壳
外壳
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流水线线体
通过延长拖线板接地必须确认接地良好。
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确认外壳及流水线金属传送带对地电阻
确认工作台接地,ESD椅子性能
流水线传送带
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