LED生产流程.ppt

文档介绍：LED产业链简介
LED产业链结构
1:蓝宝石衬底生产
2:外延
3:芯片制造(重点介绍内容)
4:芯片封装
5:LED应用
LED的本质
LED的本质就是一个PN结,通过P区空穴和N区电子的复合而释放光子,是由电能直接到光能的转换,所以LED又被称为冷光源,传统的白炽灯是有电能加热灯丝,及由电能到热能,再由热辐射出光,这也是LED发光效率高的根本原因。
LED优点︰
●寿命长,理论上为10万小时,一般大于5万小万。(是荧光灯的10倍)
●光效高,耗电量小,仅为白炽灯的1/8,荧光灯的1/3)
●体积小,重量轻,可封装成各种类型
●坚固耐用,不怕震动。环氧树脂封装,防水,耐恶劣环境使用
●多色显示,利用RGB可实现七彩色显示。
●响应时间快,一般为毫微秒(ns)级。
380nm
430nm
490nm
505nm
515nm
535nm
585nm
600nm
630nm
780nm
紫色(Purple)
蓝色(Blue)
蓝绿色(Bluish Green)
翠绿色(Green)
纯绿色(Pure Green)
黄绿色(Yellow Green)
黄色(Yellow)
橙色(Orange)
琥珀色(Amber)
红色(Red)
●LED顏色區分
目前我司生产的LED
目前我司生产的LED主要以波长为440-460nm之间的蓝光LED芯片
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外延生长
芯片前工艺
研磨、切割
点测、分选
检测入库
工艺流程图
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外延生长
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外延生长:MO源及NH3由载气传输到反应室,以质量流量计控制气体流量,反应物进入反应室后经载气传输到衬底表面反应形成外延薄膜。
主要设备有MOCVD.
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蓝宝石衬底
GaN缓冲层
N型GaN : Si
发光层(InGaN/GaN)
P型GaN:Mg
外延生长示意图
450um
5um