文档介绍：分类号——学位论文高倒栉⒓铀俣燃频慕峁股杓朴敕治李伟由宝里兰盘茎基整撞亟±⒚鳌豆适掷喾║:的分类号。年
要摘在详细阐述了电容式加速度计工作原理的基础上,选择扭摆式加速度传感器作为设计对象,根据高导铀俣燃频男阅芤G螅杓萍扑懔思铀俣燃频慕峁钩求。通过对硅徽加速度传感器的结构设计和分析,掌握了硅微机构设计的基本步《高倒栉⒓铀俣燃频慕峁股杓朴敕治觥肥粲谙执⒒缦低成杓评砺酆设计方法应用技术研究领域,课题源于国防科工委高过载传感器在引信中的应用研究。本文在对各种硅微传感器特点进行比较的基础上,选择了适用于高冲击环境,有较高抗过载性能的电容式硅微加速度传感器作为研究对象。对其工作原理和数学模型进行了阐述和研究。寸,并对结构尺寸对其性能的影响进行了分析。找到了影响高导铀俣燃菩阅的关键尺寸因素,例如支承轴宽度和长度尺寸。使用有限元方法,对计算得到的高导铀俣燃平峁菇辛司擦ρШ投ρ仿真,以验证该结构的抗高过载能力、在高祷肪诚陆峁沟挠αΨ植记榭觯证结构的谐振频率和对高冲击信号的响应情况:同时使用难鼓ぷ枘岱析功能,对扭摆式高导铀俣燃浦械难鼓ぷ枘峤辛朔治黾扑悖玫揭惶准扑压膜阻尼的方法,根据计算结果,发现在扭摆式高档缛菁铀俣燃浦醒鼓ぷ枘对结构影响甚微,可以忽略。确定加速度计结构尺寸以后,,制定了适用于高导铀俣燃频募庸すひ樟鞒獭6约庸こ隼吹墓栉⒓铀度计进行了高冲击下的试验测试,得到了正确的响应曲线,进一步验证其性能。实验表明,设计和加工好的高倒栉⒓铀俣却ḿ苹敬锏揭攀褂没肪骋骤和方法,对今后将微结构应用于引信安全机构上奠定了基础。关键词:微机械,高档缛菁铀俣燃疲琈高倒栉⒓铀俣燃频慕峁股杓朴敕治碳士论文
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奎壶年履苍专学位论文使用授权声明年露啡声明本学位论文是我在导师的指导下取得的研究成果,尽我所知,在本学位论文中,除了加以标注和致谢的部分外,不包含其他人已经发表或公布过的研究成果,也不包含我为获得任何教育机构的学位或学历而使用过的材料。与我一同工作的同事对本学位论文做出的贡献均已在论文中作了明确的说明。研究生签名:南京理工大学有权保存本学位论文的电子和纸质文档,可以借阅或上网公布本学位论文的全部或部分内容,可以向有关部门或机构送交并授权其保存、借阅或上网公布本学位论文的全部或部分内容。对于保密论文,按保密的有关规定和程序处理。。‘。’。。。!!!。‘!。‘。。。。‘’。’‘。!!!R
栉⒓铀俣却ǜ衅鞯姆⒄和微系统‘俊】功能,这是用机电或电化学方法实现的。构造微传感器是为了感知某些物理、化学或生物量的存在和强度,例如温度、准确的测量所测目标最小样品量的优点。他们可以被成批的大量制造。在不远的将来,生物医学传感器和生物传感器将在微传感器市场中占有重要的一席之地。微型生物医学传感器主要用于诊断分析。因为他们尺寸小,相对于传统生物医学仪器,这些传感器只需要很少的样品量,就可以非常快地得出结果。这个词是的缩写。一个包含一些尺寸从⒚椎毫米之间的器件。建立一个是为了获得一定的工程的核心元件一般包含两类:~个传感或制动元件和一个信号传输单元。下图说明了在传感器中这两类元件的功能关系:压力、力、声、光、核辐射、磁通量,以及化学成分等。微传感器具有可以敏感、各种各样的传感器被研制出来,用于大量的应用领域,并被广泛的应用在工业中。普通的传感器包括生物传感器、化学传感器、光传感器、热以及压力传感器等。很多其它类型的传感器已经进入市场或正在开发中。他们包括为了进行空气质量控制而用于检测燃烧中或制造工艺中排放出来的,或环境中的等化学或有毒气体的化学传感器。而且,这些传感器可以批量制造,所以成本非常低。另一方面,这些传感器大部分是一次性的,可以避免重复使用的清洗和彻底的处理等手工操作,这也可以大量节约成本。⒓铀俣燃频慕峁股杓坝士论文
橛诤旯酆臀⒐壑实某叨取R话闳衔V械菾褐方閚苫米平¨厘米之间的尺势,就是将信号处理和闭环反馈控制系统结合在微系统内,使系统智能化【刻铩一个公认的事实是微电子是世纪最有影响力的技术之一。没有微电子技术的成熟,近年来微机电系统工业的繁荣是不可能的。事实上,当前领域的很多工程师和科学家也都是微电子领域的专家,正如这两个领域共享很多关键技塑料和金属,而微电子的封装不用这些③很多微系统包括可动部分,例如微型阀、泵和齿轮。很多需要流体流过系④集成电路主要是两维结构,被限制在硅芯片表面。然而大部分微系统包括复杂的三维几何图形。因此机械工程设计在微系统