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内容提要

飞秒激光双光子微加工技术是利用材料对飞秒激光束在焦点局部
区域发生的双光子吸收现象，并通过逐点扫描来实现微器件三维成型
的加工技术，它是一种全新的微细加工技术。
本文介绍了飞秒激光双光子微纳加工技术的原理、特点和过程，描
述了我们自行搭建的飞秒激光双光子微纳加工系统，然后我们对工艺
参数进行优化，分析工艺参数如激光功率、覆盖率、曝光时间和物镜
的数值孔径对加工器件质量的影响，得出比较理想的工艺参数。最后，
我们用双光子微细加工系统成功地制作了一些微纳结构，如菲涅尔波
带片，“井”字光栅结构，点阵结构，三维木堆光子晶体结构等。并巧
妙的利用光学显微镜对菲涅尔波带片进行测试，得出各级焦点。实验
表明，双光子微细加工技术是一种灵活的加工技术。

关键词：飞秒激光、双光子聚合、微纳加工

Keywords： femtosecond laser：two photon po]ymerization：
micro—fabricartion : .
目录
第一章绪论................................................1
第一节激光微纳加工的意义..............................................................1
第二节飞秒激光微纳加工的特点......................................................2
第二章飞秒激光加工基本原理................................5
第一节飞秒激光器的研究进展..........................................................5
第二节双光子聚合原理......................................................................9
第三章飞秒激光双光子微细加工系统的搭建...................14
第一节飞秒激光双光子微细加工系统的组成..............................14
第二节飞秒激光双光子微细加工系统的搭建与调试..................16
第四章实验参数分析.......................................18