文档介绍：实验室电镜培训扫描电镜的结构扫描电镜中的信号种类扫描电镜中的成象系统扫描电镜的真空系统扫描电镜的制样扫描电镜的操作步骤扫描电镜的基本维护KYKY-2800BSEM扫描电镜结构扫描电镜结构扫描电镜电子光学镜筒主要由电子枪、透镜系统和扫描偏转系统组成,另外还包括电磁对中系统、镜筒隔断阀、消像散器、电子探测器、样品室样品台、真空系统等辅助设备。电子光学镜筒扫描电镜结构扫描电镜结构扫描电子显微镜主要是由三部份构成:1)电子光学系统,包括电子枪、电磁透镜和扫描线圈等。2)样品室。3)样品室所产生信号的收集、处理和显示系统。电子光学系统的组成:电子枪----电子源(静电透镜).聚光镜----缩小电子束(电磁透镜).物镜----缩小电子束,聚焦电子束(电磁透镜).扫描电镜的信号种类入射电子与样品的相互作用,产生二次电子、背散射电子、吸收电子、特征X射线、俄歇电子、透射电子、阴极荧光等各种可检测的信号。利用合适的各种探测器检测这些信号,就能确定样品在该电子束轰击点上的某些性质。样品入射电子束背散射电子俄歇电子阴极荧光特征X射线样品电流热量透射电子弹性散射电子二次电子扫描电镜的信号种类重要的几种信号二次电子------被入射电子轰击出来的核外电子叫二次电子。能够反映样品表面的形貌特征。背散射电子------入射电子在样品中经散射后,再从上表面射出来的电子。这种电子形成的象衬度与样品成分的原子序数密切相关,与样品表面的形貌也有一定联系(亮的部分原子序数大,暗的地方原子序数小)。特征X射线------入射电子在样品原子激发内层电子后,外层电子跃迁至内层时发出的光子。通过电镜的分析附件(X光能谱仪或光谱仪),可以利用这种特征信号进行样品的元素分析。同时,也可在分析器中选择一定的X光能量窗口,将有关信号返回到电镜的显象管上,从而得到样品中某元素的分布图。图中亮点的密度近似表示元素浓度。扫描电镜的结构扫描电镜中的信号种类扫描电镜中的成象系统扫描电镜的真空系统扫描电镜的制样扫描电镜的操作步骤扫描电镜的基本维护